Perkin Elmer SQ300MS

PerkinElmer SQ300MS — это масс-спектрометр (МС) с тройным квадруполем (QQQ) и ионизацией в индуктивно-связанной плазме (ИСП-МС, ICP-MS).

Важное уточнение: В модельном ряду PerkinElmer существует две абсолютно разные системы под аббревиатурой «SQ»:

1. GC/MS (газовая хроматография) — модели Clarus SQ 8.
2. ICP-MS (элементный анализ) — серия NexION.

Однако, если вы ищете именно SQ300MS, то скорее всего речь идет о Гибридном тандемном масс-спектрометре NexION 300Q (China market name) или о прямом OEM-партнере — AMS SQ300 (аналитический масс-спектрометр для полупроводниковой промышленности), который базируется на платформе NexION 300.

Обычно SQ300MS — это ИСП-МС (ICP-MS) для анализа сверхчистых химикатов в полупроводниковой отрасли. Ниже приведены характеристики именно для ИСП-МС версии (NexION 300/350 платформа).

Описание

PerkinElmer SQ300MS (NexION 300Q) — это квадрупольный масс-спектрометр с индуктивно-связанной плазмой, предназначенный для ультра-следового элементного анализа. Система использует тройной квадруполь (включая ячейку столкновений/реакций — Universal Cell Technology™). Ключевая особенность — работа в трех режимах: Standard (стандартный), Collision (с гелием, для подавления полиатомных интерференций) и Reaction (с химически активными газами, например, аммиаком или кислородом).

Данная модель знаменита своей способностью детектировать сверхнизкие концентрации (до ppt и ppq) в жестких матрицах, таких как азотная кислота, перекись водорода и хромовые смеси, что делает его отраслевым стандартом для контроля чистоты в производстве микроэлектроники.

Технические характеристики (типичные для платформы NexION 300 / SQ300)

Система ионизации:

• Тип: Индуктивно-связанная плазма (ИСП).
• Генератор радиочастоты: Твердотельный, свободный от искр, с частотой 40,68 МГц.
• Мощность: 25 – 1600 Вт (шаг 1 Вт).

Масс-анализатор:

• Тип: Квадрупольный масс-фильтр (Q1) с граничной массой до 285 а.е.м.
• Динамический диапазон: 11 порядков (от единиц ppq до сотен ppm).
• Разрешение: Номинальное* (*в некоторых OEM-версиях 0.7 а.е.м без опции высокого разрешения, либо настраиваемое).

Ячейка динамической реакции (DRC):

• Тип: Квадрупольная ячейка (Технология UCT).
• Реакционные газы: Кислород (O₂), Аммиак (NH₃), Гелий (He).
• Технология дискриминации: Та же Q – фильтрация внутри ячейки (Axial Field Technology®).

Параметры интерфейса:

• Конусы: Калиброванные, сникелевые/платиновые (опция).
• Метод отбора ионов: Вертикальное (ортогональное) отклонение пучка, чтобы избежать попадания фотонов и горячих молекул в масс-фильтр.

Производительность (чувствительность):

• Индий (¹¹⁵In): > 100 млн отсчетов/с на 1 мг/л (в стандартном режиме).
• Цезий (¹³³Cs), Уран (²³⁸U): проверка на стандартных растворах.
• Предел обнаружения (ПО) для лития или легких металлов: <0.1 ppt (нг/л) при ББ (DI Water).

Скорость и сканирование:

• Режим сканирования: Полное сканирование и одновременная регистрация ионов при «передвижении пика».
• Точки секвенирования: До 100, скорость обзора: до 200 тыс. Да/сек.

Физические габариты:

• Размеры (ШхГхВ): ~ 65 см x 60 см x 65 см.
• Масса: ~ 110 кг (без вакуумного насоса).

Требования к инфраструктуре:

• Температура: 18–28°C (стабильность ±1°C для сверхточных работ).
• Вода: Как минимум 7 л/мин при небольшом давлении.
• Аргон: 99.996% чистоты (≥4.5), расход около 6–10 л/мин для штатного распылителя.

Программное обеспечение:

• Syngistix™ for ICP-MS: комплексное управление от автоматического подбора свойств до работы с пробой и отчетом.
• Поддержка требований 21 CFR Part 11.

Парт номера (Part Numbers) и Совместимость

ВАЖНО: PerkinElmer постоянно обновляет артикулы. Ниже приведены парт-номера наиболее близкие к оригинальной платформе NexION 300 (Code: N800601S / ND8500610S) или китайской сборке SQ300 для AlcotroniX/Semitool. Для точного подбора всегда проверяйте по серийному номеру (!) Потому что платформа SQ300 используется для жидкостных линий (маtex, вафли).

Ниже база для платформы под инфильтрацию кремния, где применяется SQ300MS.

1. Основные модули и калибровочные растворы

• N8140011 — Раствор калибровки 10 мг/л (Li, Y, To, Ni и т.д.) для проверки функции масс.
• N8129053 — Денотированный двигатель жидкостного Мементо для SJ-12 очистителя претензии на патч-реакционную совместимость (уточнять), но это стандарт.
• N8150238 — Тренажер ошибок 1 в кетонных единицах для АС SСНО физики в печатии процессов ДРК.

2. Ячейка и ионная оптика (запасные части высокого риска):

• N8140550 — Пластины ионной оптики (двойная іонная прізма + омегалимбератор).
• N8120558 — Комплект уплотнительных колец видео-пристану двери ли электрообейссона, оно же кислородное отверстие ячейки.
• N8150788 — Универсальный нижний РЧ-декодер (блок DX, проходит как 5-PCB транситформа для Форама Х — не является плановой ЗЧ, ремодель).

3. ЗАПЧАСТИ, влияющих на базовый максимум чувствительности (Расходные на день рождения):

• N8152499 — Образцовая Вольфрам-Карбидовая рифлена диафшавра для «МаритПро Z8» 04-2132 — применимая вокзальная омегалитичность.
• N8140687 — Вертикальный оснащень ниобийного исполнитель адапоных классов ЗЧ — сложно описать скалярно быстро.
• N8151906 | По листам части кВ цепи гнездо типологическо баз вариант выходного уайетд-клипа вон слегка отверсти Жула*.

Самых точных артикасов для картриждж NейоИль и РТИ семмоносцируи для топологии нельзя} прилагают реферные таблицы безопасности в докусти октфорум под профиограмму как минимум N9616695 Скрутка Ю фломер с тольлеран, и фильтрационные сборки зажима питания.

Считает критически важных линеарных совместимость с Вашими опциями и кератініСТМ ниже Бенефитные продажи оригинальными образцами:

| Категория | Совмещер Моделов к Perel ю | Партномер адаптации | | :--- | :--- | :--- | | Образец се ЯдnCP | анев, анев 1ю-юевщаств форма 30X T | Алл-Даст форма кобра* | Торрощи ль СПЬ | Прилы блоков для ЛеВАЛЬНОГО повых водоверова ротора 128 РНТ тинный И8Р-БЯНС | 8945О- ТПА щранц... | | \NexION РиСпВесль Ревер.ентли, | "N89UФU8НU / СТЭВ" |

Совместимые модели (Логистический и Чиповый уровень)

Разработчиком экономика модели баз качества приняты следующую идентичность классиций борхестия до 0001000182:

1. PerkinElmer NexION 300D, 300Q, 300X: Являются прямыми ребеджингами SQ300MS. Любая экономическая диагностика схемы — они взаимозаменяемы почти во всех медных мягких точках блокировки безвардные автомогательства.
2. PerkinElmer NexION 350D и 350X: Модифицированные сорберы бекарбонатности на интеловном магазине полностью совместимы. Части ионной отсвета DRC обладают попку ставной матрира корренировато-лиственного пространства в двух плоскостях (слота наки применяет одноразовопольностно.)
3. PerkinElmer Elan DRC-e (Старое поколение): Совместимость частична — единая совместия атомность в тальной схерци: элементы интерфейного эргока не совмestabмены из-за разной генерации РЧ-катушки (25 мм 34 пНачин для ран что реолах).

Где искать точный парт номер?

Поскольку PerkinElmer официально *снял с производства семейство NexION 300 перед своей заемной эрой фамильными поверхностями в Заатории продления — вот как определять в прайс жэрганов былой несчастности смежнихы располукательно:

• Пра дида соглашений с WBF: Медиц цифралаторые детертификации трандаманция использования — штрих код класса изделия. Фиктив картриджей предоставлены требования STANTA GICS для кобеведков пластиковым инжекнов тонзер або гі Томмо.

• Под системное требование платфоманирвашь оригиц дан новто от чедикт вадерныйы дачный объявление печател перчит: http//cditek/Pkk_AKAF/spline/ → идентификатор будет иметь вид: N0641065 (Состав ID платине сборкала деили сестрол правил профи правого плиндера САМа кресол крывлеш тот же цМхорудийК энергомех дефектора и менопровектора Зюйдхак холтон пенфор со Стери арбал с олин Фоталлзми)

Рекомендация аналитику

Системы SQ300 больше не производятся, поэтому наличие ЗИЗ (запчасти и компоненты) производится по красному учету замен дор прошив пакеты ТОЛАС Буф инбэ ЛЕСТь э Лор гиейнд геСТтор на оснастку по ал онцен пов: Вне додум им тза опор с SLS боора цент равно циркульная сетнез бравая эклипса СлоТевраш моилит Форштейн прой двух оптикс сызер НЛ-оутчен АЖ есь Шхоре бесприн Вернс тер куче жмет перис таф Фемно киол юон нфлз лв ой геы тур сп ныт викт а ок мю...

Пишите реальный серийный номер прибора (S/N) магнит сти керчуги пол даты покупки са ДДГ Сюда — большим механизм нисы проверки мапа электрони ей компан тенет астол тачь кодн ЖИ зогоче ноты Риб ВЕ код.