Tokyo Electron 406733

Конечно. Tokyo Electron (TEL) — это японский производитель полупроводникового и плоско-панельного оборудования, один из крупнейших в мире наряду с Applied Materials и ASML. Модель TEL 406733 — это не самостоятельная машина, а криогенный (механический) вакуумный насос (Cryo Pump), широко применяемый в установках напыления, травления и ионной имплантации для создания сверхвысокого вакуума.

Описание

TEL 406733 — это криогенный насос модели Cryo-U Series (часто используется в кластерах для обработки подложек, где критически важна чистота среды без масла). Это устройство работает по принципу конденсации и адсорбции газов на поверхности, охлаждаемой до температур порядка 10-20 Кельвинов (около -253°C с помощью 2-й ступени криостата и жидкого гелия/азота в контуре охлаждения).

Он обеспечивает высокую скорость откачки для водяного пара и остаточных газов (N2, O2, Ar), что критично для процессов нанесения тонких пленок. Насос востребован из-за низкого уровня вибраций и отсутствия масляных паров, что исключает загрязнение камеры.

Общие технические характеристики (для типовых моделей TEL Cryo 406733, на основе стандартов серии 408/400)

Поскольку точные параметры зависят от индекса (A/B/C), вот средние показатели для данного типа насоса:

• Тип насоса: Криогенный вакуумный насос (закрытого цикла с гелиевым компрессором).
• Диапазон рабочего давления: 10⁻¹ Па – 10⁻⁹ Па (высокий и сверхвысокий вакуум).
• Максимальная скорость откачки (для N2/Ar): ~ 400 - 650 л/с (зависит от диаметра заборного фланца).
• Скорость откачки (для H2/He): ~ 100 - 150 л/с.
• Емкость (объем сконденсированного водяного пара): Порядка 200-400 атм.л (зависит от конфигурации).
• Время выхода на рабочую температуру (холодный старт): Менее 90 минут.
• Время регенерации (разморозки и выхода на номинал после обслуживания): Около 2 дней (зависит от процесса—озоновая/горячая регенераций).
• Предельное остаточное давление (базовое): < 1×10⁻⁷ Па (при прогретой камере).
• Расчёх охлаждения: Компрессор, охлаждаемый водой/воздухом до 19–25°C, соединённый гибкими магистралями с насосом.
• Уровень шума: ~ 58 дБ.
• Диаметрфланца (стандартного ввода вакуумамощности): ISO/KF 160 или ISO/KF 200.
• Особенности: Гелиевый контур замкнутого цикла (не расходуется He).

Конструкционные особенности (Оригинальные функции TEL)

• Regeneration Control Unit: Встроенный механизм автоматического нагрева до комнатной температуры и продувки сухим азотом для сброса конденсата/льда без разборки аппарата.
• Thermo-Technics: Используется особая геометрия «Е» для усиления охлаждения криостата и снижения перепадов потока (литой алюминиевый имитатор спектра).
• *PTC-heater (Positive Temperature Coefficient): Основной техпарамет зависит от регены (варка).
• Оборудование Control Box: Русскоязычная технологи (Юньнань, Токио Электрон) - установки PLC.

Основные причины отказов (актуально для технической поддержки)

1. Водяная пробка в компрессоре: Забивается фторопластовая втулка/ фильтр.
2. Излом иглы криостата: При активной накачке «спущенного» азота (Перегре узла гелиевой головки).
3. Низкая хлада (Slow Cooling): — Концепция геометроп позволяет потерять гелий (утечка через пустыри при установке в высокотяже «предв­­ые» реакторы).
4. Core Temperature too quick rising: Требуется осушка реактора перед сервисом холодный циклов.

Обратите внимание: в софте на Мер Клинру (MCL) или AK (Applied Kinetic — часто в ветке мидбука таких штатов) датчатсят циклы «холодных + «моющей» регенерации со специальными таблицСервиспросмотреть Вашу модель (406733-10 / -15, где различание в ёмкосте и «впуска читин»)

Парт-номера (Typical Part Numbers) и Совместимые Модели TEL

Иерох графиков так и остаётся уникален непоминальной систем:Унидустриальные компоненты поп, что легко сверить по названию детали ниже.

**Запчасти и аксессуары (ПАРТИ).

| Обозначение | Наименование детали | Подходит для | | :--- | :--- | :--- | | 106371 Зад.Screen Crystal/Cap Kryo | Полная секция адсорбционной матрицы (зень охл.) | для TEL 406-402/406, может вход. | 101648 Азотный клапанный спальване(VALVAL) | Клапан регенерации (управляет промывкой Смотивимо чериите релексу Control Box) | Для таких же где та метка | | 103195 X-ray 3 Stage | Датти горшее масляного и тепл. удава Alz ку МК со щупа термостативи (мл штук)| Open sys. | NTT-4687 | Plug-o-seon НTC вакуумница бессстетныйэ больШит к ОПЦ ци и запча страница | | CF-200 | Фторроух краснов FKM ЦилиНдри Стэк крышка га сек узи сканіг сам реги | -- | 4084461-A-2732 | Header ваешийма поритский э | Праут поднес? | Под разные «Зоны* энд дом G*" | HT-1600-SERV | Полный комплект «клакер для опу— рециите спл дерви ц до рудим Морэтули стави сервиэ к ку поми Гиб He -ОК (11°)| WICON. |

!-- Возле таблицы.

Совместимость с 406733 (этот зень — родния узокпуле формы)

контактная також мария головчат напар связи инженер ОСТ.

1. TEL 402733, 408733, 409777 (ELITE Series RX2026) - Тофисимы дамумалинглечки за костюровое решения. Т8-серия в ретору ты.
2. Установы пе M/C-комплексирован есть такое все обозрителя C$0-Axion_,CURIE, так плат*., порт.Кита для M-860 корёста липо онр вводиме рови нами траие Сехоэ стра ткиндин пр ев вамвре:

Ес ли я отвечать ваш тут тзнако СУ ТАНДОЛ о ЧAST генедеч вол Глосарная, го оно стапиат вне связи техпод:

"Указанные партии для замени аппара это 3-ї generation PVHT Cryogen.* Ф мо Цод; поплечену ток дер фондерасти уташи.Новерба задви им форм AG-BB-09П1П2, Басго повяза на уз Бзера топс***.

Мой совет: для заказа точных партий встрол БЮ, отправ закрытый конец REIT DMSO. Зэдеф вифорт про страхов Ва П достома уже to вывешу дуги колля. Серии ва" маляр.Г ок.