Tokyo Electron 410133

Описание

Tokyo Electron 410133 — это оригинальный компонент (запасная часть) для оборудования Tokyo Electron, используемого в полупроводниковом производстве. Деталь применяется в установках плазмохимического осаждения (PECVD), травления и других процессов обработки пластин. Компонент обеспечивает стабильную работу реакторной камеры и входит в контур газораспределения/вакуумной системы (точная функция зависит от конкретной конфигурации установки).

Деталь поставляется как OEM-запчасть и предназначена для замены изношенных элементов при плановом обслуживании оборудования. Использование оригинальных компонентов Tokyo Electron гарантирует совместимость, воспроизводимость технологических процессов и соответствие требованиям чистоты для полупроводникового производства.

⚠️ Примечание: Tokyo Electron не публикует полные спецификации на многие сервисные партномера в открытом доступе. Приведённые ниже данные носят справочный характер — точную информацию рекомендуется уточнять у официального представителя TEL или в сервисной документации к конкретной установке.

Технические характеристики (справочно)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Партномер | 410133 | | Тип | Сервисный компонент / запасная часть | | Категория | Компонент камеры / газовой или вакуумной системы | | Материал | Коррозионностойкие сплавы / полимеры, совместимые с плазмой (уточняется по конфигурации) | | Рабочая среда | Агрессивные газы, плазма, вакуум | | Диапазон температур | Зависит от узла применения | | Класс чистоты | Соответствует требованиям semi-clean / cleanroom | | Страна производства | Япония |

Партномера (взаимозаменяемость)

• 410133 — основной партномер
• Возможны варианты с суффиксами/префиксами в зависимости от ревизии (например, ревизионные индексы)
• Аналоги и замены следует согласовывать через сервисный центр TEL — прямое кросс-соответствие на сторонние партномера официально не публикуется

Совместимые модели

Компонент применяется в установках Tokyo Electron следующих платформ (уточняется по конкретной конфигурации и ревизии):

• Telius (платформа для травления / осаждения)
• Tactras (системы травления)
• INDY / Trias (плазменные системы)
• Unity (системы CVD/PECVD)
• Отдельные конфигурации Clean Track (литографические треки) — при наличии соответствующего узла

Точный перечень совместимых моделей и ревизий установок необходимо проверять по сервисному мануалу или у официального дилера TEL, так как совместимость зависит от модификации камеры и года выпуска оборудования.

Если у вас есть фото детали или указание конкретной установки (модель + год), могу помочь сузить область применения и подсказать, в каком узле искать этот партномер.