Tokyo Electron 701487

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики, совместимые модели и парт-номера для продукта с маркировкой Tokyo Electron 701487.

Общее описание

Tokyo Electron 701487 — это сменный узел (запасная часть, компонент) для оборудования производства Tokyo Electron Limited (TEL), одного из мировых лидеров в производстве полупроводникового оборудования.

• Тип изделия: Это расходный материал или компонент, который подвержен естественному износу в процессе эксплуатации и требует периодической замены для поддержания оборудования в рабочем состоянии.
• Назначение: Используется в процессе плазменного травления (Plasma Etch) или химического осаждения из паровой фазы (CVD). Чаще всего такие номера относятся к элементам плазменной камеры (Process Chamber).
• Вероятная функция: Исходя из серии номера "701487", этот компонент, скорее всего, является:
  • Электродом (Upper Electrode / Lower Electrode / Showerhead)
  • Фокусирующим кольцом (Focus Ring)
  • Вкладышем камеры (Chamber Liner / Quartz Kit)
  • Газораспределительной пластиной (Gas Distribution Plate)
  • Держателем подложки (Wafer Pedestal / ESC Edge Kit)

Важное предупреждение: Для точного определения функции и безопасной установки необходимо обратиться к официальной документации TEL (Service Manual, Parts List) или к инженерам-технологам на производстве. Установка неправильной детали может привести к повреждению дорогостоящего оборудования и нарушению технологического процесса.

Технические характеристики (Общие/Типовые)

Поскольку точные характеристики зависят от конкретной модели оборудования, ниже приведены типовые параметры для подобных компонентов:

1. Материал: Высокочистый алюминий с анодированным или плазменным покрытием (YA, Y2O3, Al2O3), кремний (Si), карбид кремния (SiC), кварц (SiO₂).
2. Чистота материала: Высший класс, соответствующий стандартам полупроводникового производства (для предотвращения загрязнения пластин).
3. Механическая точность: Высокоточная обработка с допусками в микронах для обеспечения равномерности плазмы и температурного режима.
4. Термостойкость: Рассчитан на работу в условиях высоких температур (до нескольких сотен градусов Цельсия).
5. Плазмостойкость: Покрытие или материал устойчивы к воздействию агрессивной плазмы (CF4, SF6, Cl2, HBr и т.д.).
6. Электрические свойства: Определенная электропроводность или диэлектрические свойства в зависимости от функции (например, для электрода).

Совместимые модели оборудования (Платформы TEL)

Деталь с номером 701487 может использоваться в одной или нескольких сериях установок TEL для травления или CVD. Наиболее вероятные платформы:

• Для травления (Etch):
  • TEL TRIAS™ series
  • TEL Telius™ series
  • TEL Tactras™ series
  • TEL SCCM series (например, для поликремния, диэлектриков, металлов)
• Для CVD:
  • TEL Unity series
  • TEL Dragon series

Ключевой момент: Совместимость определяется не только платформой, но и конкретной конфигурацией камеры (Chamber Kit) и рецептом (Recipe). Одна и та же модель установки может иметь разные версии камер для разных процессов.

Парт-номера и эквиваленты

Парт-номера — это альтернативные номера, под которыми эта же деталь может фигурировать в разных каталогах или системах. Они могут включать:

1. Номер чертежа / Engineering Part Number: Может совпадать с 701487 или быть похожим (например, G701487, 701487-001).
2. Номер для заказа (Ordering Number): Номер, используемый в коммерческих документах TEL или дистрибьюторов.
3. Номер в спецификации (Spec Number): Связан с конкретной версией материала или покрытия.
4. Номера эквивалентов от вторичных поставщиков (Aftermarket): Компании, специализирующиеся на совместимых запчастях, могут выпускать аналоги под своими номерами. Их использование требует дополнительной валидации!
   • Пример: Компании вроде Ichor Systems, ATL, MSA и другие могут иметь свои каталогизированные эквиваленты.

Как получить точную информацию (Рекомендации)

1. Официальная документация: Найдите Parts List или Bill of Materials (BOM) для вашей конкретной модели установки TEL (например, TEL SCCM 200, TEL TRIAS 2 SINA).
2. Система планирования ресурсов предприятия (ERP): На производстве все запчасти закодированы в ERP-системе (например, SAP). Запрос по номеру 701487 в ней даст точное описание и историю использования.
3. Связь с TEL или авторизованным дистрибьютором: Это самый надежный способ. Предоставьте им:
   • Полный номер детали (701487)
   • Модель вашей установки TEL (например, TEL SCCM 230)
   • Номер серии (Serial Number) установки.
   • Номер конфигурации камеры (Chamber Kit Number), если известен.
4. Сканирование штрих-кода: На оригинальной упаковке детали обычно есть штрих-код, содержащий полную информацию.

Итог: Tokyo Electron 701487 — это критически важный сменный компонент для поддержания работы установки TEL. Его правильная идентификация и установка напрямую влияют на качество производимых полупроводниковых пластин и бесперебойность производственной линии. Всегда используйте официальные источники информации для работы с такими компонентами.