Tokyo Electron 10353201

Конечно. Вот подробное описание, технические характеристики, парт-номера и информация о совместимости для Tokyo Electron (TEL) 10353201.

Описание

TEL Part No. 10353201 — это сетчатый фильтр (Mesh Filter), также часто называемый фильтром-грязеуловителем или предохранительным фильтром. Это расходный материал (consumable), используемый в системах подачи химических реагентов (Chemical Delivery System, CDS) на оборудовании для производства полупроводников, таком как травление (Etcher) и коатеры/девелоперы (Coater/Developer).

Основное назначение:

1. Фильтрация: Защита критически важных компонентов оборудования (таких как клапаны, регуляторы расхода, распылительные форсунки) от твердых частиц, которые могут присутствовать в химических реагентах или образоваться внутри трубопроводов.
2. Предотвращение дефектов: Улавливание загрязнений, которые в противном случае могли бы попасть на кремниевую пластину (wafer) и вызвать микроскопические дефекты, снижающие выход годных изделий (yield).
3. Защита системы: Предотвращение засорения и выхода из строя точных и дорогостоящих компонентов системы подачи жидкостей.

Этот фильтр обычно устанавливается в фильтр-холдер (filter holder) на линии подачи конкретного химического реагента (например, фоторезиста, растворителя, проявителя) непосредственно перед точкой его использования в процессе.

Технические характеристики (Типовые)

• Тип: Плоский (дисковый) сетчатый фильтр / Фильтр-грязеуловитель.
• Материал корпуса (Housing): Обычно PTFE (политетрафторэтилен, тефлон) или высокочистый PFA. Эти материалы обладают исключительной химической стойкостью к широкому спектру агрессивных реагентов, используемых в полупроводниковом производстве.
• Материал фильтрующего элемента (Mesh): Нержавеющая сталь марки SUS 316L (высококачественная, электронополированная) или специальные сплавы, совместимые с химикатами.
• Размер пор (номинальный): Чаще всего 10 микрон (10 μm). Также могут встречаться версии с другим размером пор (например, 7, 15, 20, 30 мкм) в зависимости от требований процесса. Точный размер должен быть указан на этикетке оригинальной упаковки.
• Диаметр: Стандартный размер, соответствующий распространенным холдерам TEL, например, 46 мм (или близкий к этому).
• Толщина: Несколько миллиметров (обычно 2-5 мм).
• Давление: Рассчитан на работу в условиях давления, типичных для систем подачи химикатов (несколько атмосфер).
• Совместимые химикаты: Универсален для большинства стандартных химических реагентов (фоторезисты, растворители, щелочные проявители и т.д.), благодаря материалу PTFE/PFA. Для специфических химикатов требуется проверка.

Парт-номера и Совместимые модели

Важное примечание: Номер 10353201 является внутренним парт-номером Tokyo Electron (TEL). У дистрибьюторов и производителей аналогов (OEM, вторичный рынок) могут быть свои номера для эквивалентного продукта.

1. Прямые аналоги и кросс-ссылки:

• TEL Оригинал: 10353201 (основной номер).
• Производители фильтров (OEM): Компании, которые производят фильтры для TEL, могут иметь свои номера для идентичного изделия. Например, такие бренды как Entegris, Pall, TFI Filtration.
  • Пример: Entegris P/N 30353201 (гипотетический пример, реальный номер нужно уточнять по каталогам Entegris).
• Номера на вторичном рынке (Aftermarket): Поставщики совместимых расходников создают свои кросс-номера.
  • Пример: AWP P/N TEL-10353201 или FIL-TEL-335 (примеры условные).

2. Совместимое оборудование TEL (основные серии):

Этот фильтр совместим с широким спектром оборудования TEL для процессов нанесения покрытий и травления. Конкретная модель оборудования зависит от конфигурации линии химикатов.

Группа Coater/Developer (Track Systems):

• Серия CLEAN TRACK™: ACT 8, ACT 12, LITHIUS Pro™ Z, LITHIUS Pro™ V, LITHIUS™ 2.
• Серия Photoresist Coater/Developer: Многие модели, устанавливаемые в кластерах с степперами/сканнерами.

Группа Etcher (Системы травления):

• Серия TACTRA™
• Серия Unity™
• Серия Telius™
• Более старые и специализированные модели травления.

3. Критически важная информация для заказа/подтверждения:

При заказе аналога или замене фильтра необходимо предоставить поставщику:

1. Оригинальный номер TEL: 10353201.
2. Модель оборудования: Например, "TEL LITHIUS Pro Z Coater".
3. Название процесса или химиката: Например, "фильтр на линии подачи фоторезиста TOK TArF 7i" или "фильтр на линии растворителя".
4. Размер пор (Micron): Уточнить по старому фильтру или спецификации процесса (чаще всего 10µm).
5. Фотографии старого фильтра (лицевая и тыльная сторона, этикетка на упаковке если есть).

Рекомендация: Всегда сверяйте физические параметры (диаметр, толщину, материал, цвет корпуса) и размер пор получаемого фильтра с демонтируемым. Использование несоответствующего фильтра может привести к утечкам, недостаточной фильтрации или химической несовместимости.