Tokyo Electron 045-001037-1

Описание

Tokyo Electron 045-001037-1 — это оригинальный компонент (запасная часть) для полупроводникового оборудования производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из крупнейших мировых производителей оборудования для производства полупроводников и дисплеев.

Данный парт-номер относится к категории сменных/расходных компонентов, используемых в установках TEL для процессов осаждения, травления, очистки и термообработки пластин. Компоненты с подобными номерами (формат 045-XXXXXX-X) традиционно используются в кластерах и модулях обработки пластин TEL, обеспечивая стабильность технологических процессов и воспроизводимость результатов.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | 045-001037-1 | | Тип компонента | Сменная деталь / расходный компонент оборудования | | Категория | Запчасть для полупроводникового оборудования | | Совместимость | Установки TEL соответствующей серии (см. ниже) | | Материал | Зависит от узла применения (металл/керамика/полимер) | | Условия эксплуатации | Вакуум/плазма/высокие температуры (в зависимости от узла) |

⚠️ Важно: Tokyo Electron не публикует в открытом доступе подробные спецификации для большинства внутренних парт-номеров. Точные технические данные (материалы, допуски, ресурс) доступны только в сервисной документации TEL или через авторизованных поставщиков запчастей.

Совместимые модели и парт-номера

Официально подтверждённая информация о совместимости с конкретными моделями установок и о «кросс-номерах» (аналогах) для 045-001037-1 в открытых источниках отсутствует. Это типично для внутренних сервисных номеров TEL.

Для точного определения совместимости рекомендуется:

1. Обратиться в сервисную службу Tokyo Electron или авторизованного дистрибьютора запчастей.
2. Проверить сервисный мануал конкретной установки (обычно в разделах Parts List / Spare Parts).
3. Связаться с поставщиками вторичного рынка запчастей (refurbished parts), которые часто имеют кросс-референс-таблицы по номерам TEL.

Наиболее вероятные серии оборудования TEL для применения подобных компонентов:

• Cleaning / Wet Processing (серии CLEAN TRACK, например ACT-8, ACT-12)
• Coater/Developer (CLEAN TRACK ACT™)
• Etching systems (например, серии UNITY, Tactras™)
• Deposition systems (например, Trias™, Alpha™)

Соответствие конкретному парт-номеру узла необходимо подтверждать по сервисной документации.

Рекомендации

• При заказе указывайте полный парт-номер: 045-001037-1 и серийный номер установки.
• Остерегайтесь неоригинальных аналогов — для полупроводникового оборудования качество запчастей критично.
• Для вторичного рынка запрашивайте сертификат происхождения и историю наработки.

Если у вас есть доступ к сервисному мануалу установки или вы можете уточнить, для какого узла (камера, газовый блок, робот-манипулятор и т.п.) предназначен этот номер, я помогу сузить круг совместимых моделей.