Tokyo Electron 17240-PE14-ADW1

Описание

17240-PE14-ADW1 — это OEM-компонент производства Tokyo Electron (TEL), предназначенный для использования в оборудовании полупроводникового производства (плазменные травители, CVD/PVD-установки, системы очистки пластин и т.п.). Деталь относится к категории расходных/сменных узлов камеры (обычно — элемент газораспределения, уплотнение, электрод или деталь крепления), поставляется как запасная часть с индивидуальным парт-номером TEL.

Так как TEL не публикует открытые даташиты на большинство сменных частей, точное функциональное назначение конкретно этого артикула подтверждается только по внутренним сервис-манипуляциям TEL (BOM соответствующей платформы). Ниже приведены типовые параметры для деталей этого класса — их следует верифицировать у поставщика перед заказом.

Технические характеристики (типовые для класса деталей)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | 17240-PE14-ADW1 | | Категория | Сменная часть / расходный компонент камеры | | Материал (типично) | Нерж. сталь / Al/Al₂O₃ / керамика / эластомер (зависит от узла) | | Рабочая среда | Плазма, агрессивные газы (Cl₂, BCl₃, CF₄ и др.) — для соответствующих узлов | | Диапазон температур | ~20–200 °C (зависит от узла) | | Чистота исполнения | Cleanroom / precision cleaned | | Класс детали | OEM (не аналог) | | Упаковка | Индивидуальная, антистатическая |

Примечание: Конкретные значения (материал, размеры, допустимое давление, ресурс) для 17240-PE14-ADW1 в открытых источниках отсутствуют — уточняйте в сервисной документации TEL или у авторизованного дистрибьютора.

Парт-номера (кросс-референс)

Открытого публичного кросс-листа для этого артикула нет. В практике TEL используются:

• 17240-PE14-ADW1 — основной (базовый) номер
• Возможны варианты суффиксов ревизий: -ADW1, -ADW2, -ADW1-A и т.п. (уточняются по BOM)
• Альтернативные обозначения у дистрибьюторов могут включать префикс TEL-17240-PE14-ADW1

Для точного кросс-референса требуется запрос в TEL Service или к официальному партнёру (например, региональные представители TEL, реселлеры запчастей для semicon-оборудования).

Совместимые модели

Публично подтверждённый список платформ для данного артикула не раскрывается производителем. Поскольку номер относится к группе 17240-PE14, он, как правило, применяется в установках TEL серий:

• TEL CLEAN TRACK (линии трекинга — coater/developer)
• TEL TRIAS / TELEIOS / TACTIC (плазменные травления)
• TEL ALPHA / EXCELLAN (CVD/PVD)
• TEL CELLESTA / CERTAS (плазменная обработка)

⚠️ Конкретную совместимость с моделью (например, «TEL LITHIUS i+», «TEL Vigus», «TEL Tactras») необходимо подтверждать по сервис-мануалу установки и BOM — без этого указывать модель в описании некорректно.

Рекомендации по заказу

1. Запросите BOM и сервис-манифест вашей установки у TEL Service.
2. Сверьте ревизию суффикса (-ADW1 vs -ADW2) — они могут быть невзаимозаменяемы.
3. Заказывайте только через авторизованного поставщика OEM-запчастей — на semicon-рынке распространены подделки.

Если вы укажете конкретную модель установки TEL (например, Tactras Vigus, Lithius i+, Cellesta), я смогу сузить область применения и подсказать, в каком узле обычно используется деталь с этим номером.