Tokyo Electron 1810-323052-13

Tokyo Electron 1810-323052-13 — это оригинальная запасная часть (компонент) для промышленного оборудования Tokyo Electron (TEL), используемого в полупроводниковом производстве. Данный парт-номер относится к категории механических/вакуумных компонентов, применяемых в кластерах обработки пластин (например, в установках травления, осаждения или очистки).

Описание

Деталь 1810-323052-13 представляет собой прецизионный компонент газораспределительной/вакуумной системы или узла крепления подложки в камерах TEL. Изготавливается из коррозионностойких материалов (нержавеющая сталь, алюминий с покрытием, керамика или фторполимеры), совместимых с агрессивными средами плазмохимических процессов и сверхчистыми условиями.

Компонент применяется в качестве сменного элемента при плановом обслуживании (PM) оборудования и обеспечивает:

• герметичность и стабильность параметров процесса;
• равномерность распределения газа/охлаждения;
• механическую фиксацию внутренних узлов камеры.

Поставляется как оригинальная запчасть TEL (OEM), может иметь аналоги послеребрендинга (Tokyo Electron → TEL / Tokyo Electron Kyushu).

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | 1810-323052-13 | | Категория | Механический/вакуумный компонент камеры | | Материал | Нержавеющая сталь / Al с покрытием / фторполимер (зависит от ревизии) | | Рабочая среда | Плазмохимические газы, вакуум | | Диапазон температур | ~ до 200–300 °C (уточняется по ревизии) | | Класс чистоты | Cleanroom / UHV-совместимый | | Соответствие | RoHS, SEMI-стандарты | | Тип поставки | OEM / послепродажный эквивалент |

⚠️ Точные значения (размеры, допуски, материал) зависят от ревизии и подтверждаются у TEL или у авторизованного дистрибьютора — в открытых каталогах полная спецификация не публикуется.

Парт-номера (связанные / кросс-референс)

• 1810-323052-13 — основной (базовый) номер
• Возможные ревизии: 1810-323052-11, 1810-323052-12, 1810-323052-14 (взаимозаменяемы в зависимости от модификации узла)
• Альтернативные обозначения в каталогах TEL: указываются с префиксами склада (например, TEL-1810-323052-13)

Кросс-референс к номерам других производителей отсутствует — деталь OEM-специфична.

Совместимые модели оборудования (предположительно)

Парт-номера серии 1810-32xxxx используются в платформах Tokyo Electron:

• Telius (CCP/ICP плазменное травление)
• Tactras (этчеры)
• Clean Track серии Lithius / Lithius Pro (системы трекинга фоторезиста)
• Alpha / EXP серии (осаждение/обработка)
• Отдельные узлы Triase+ / Iridia

✅ Точная совместимость подтверждается по сервис-мануалу конкретной установки (модель + номер камеры + ревизия). Рекомендуется сверка с TEL Tech Support или авторизованным сервис-партнёром перед заказом.