Tokyo Electron 1881-022019

Описание

Tokyo Electron 1881-022019 — это оригинальный компонент (запасная часть) для полупроводникового оборудования производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из крупнейших мировых производителей оборудования для производства полупроводников и дисплеев.

Данный парт-номер относится к категории расходных/сменных компонентов, используемых в установках TEL (чаще всего в системах травления, осаждения или литографии — точная принадлежность зависит от конкретной платформы). Компоненты с подобными номерами в номенклатуре TEL обычно представляют собой прецизионные детали газораспределительных систем, узлов камеры, крепежа, уплотнений или электрических сборок, рассчитанных на работу в условиях вакуума и агрессивных химических сред.

⚠️ Важно: Tokyo Electron не публикует открытые каталоги с расшифровкой всех парт-номеров. Полная спецификация доступна только авторизованным сервис-партнёрам TEL или в закрытых сервисных мануалах (Service Manual) конкретной модели оборудования.

Технические характеристики (типовые для компонентов данной категории)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Limited (Japan) | | Парт-номер | 1881-022019 | | Тип | Оригинальный сменный компонент (OEM spare part) | | Категория | Зависит от узла — механический/газовый/электрический компонент | | Материал | Как правило: нержавеющая сталь, Al₂O₃-керамика, PCTFE/PTFE, Kalrez/ Viton (для уплотнений) | | Рабочая среда | Вакуум, плазма, агрессивные газы (Cl₂, CF₄, SF₆ и др.) — в зависимости от узла | | Диапазон температур | Обычно от −20 °C до +200 °C (уточняется по мануалу) | | Совместимость | Только оборудование TEL соответствующих платформ |

Точные размеры, допуски и материалы — только по сервисному мануалу TEL для конкретной установки.

Парт-номера

• Основной (OEM): 1881-022019
• Данный номер является уникальным в номенклатуре TEL; прямых публичных аналогов/кросс-референсов не публикуется.
• Для заказа требуется подтверждение по серийному номеру оборудования у авторизованного дистрибьютора TEL.

Совместимые модели

Публично точный перечень совместимых моделей не раскрывается производителем. Компоненты с номерами серии 1881-xxxxxx в номенклатуре TEL чаще всего относятся к платформам:

• TEL Unity / Unity II / Unity IIe (системы плазменного травления и CVD)
• TEL Telius / Tactras (плазменное травление)
• TEL Trikon (PVD/CVD/etch)
• TEL Alpha / Mark серии (в зависимости от узла)

⚠️ Утверждать совместимость с конкретной моделью без сервисного мануала нельзя — это приведёт к ошибке при заказе. Номер 1881-022019 нужно проверять по спецификации (BOM) вашей установки в сервисном ПО TEL или через запрос к официальному сервис-партнёру с указанием:

• модели установки (например, Tactras Vigus, Telius SCCM и т.д.);
• серийного номера;
• расположения детали на схеме.

Рекомендация по приобретению

1. Обратитесь к авторизованному сервис-партнёру TEL (в СНГ/ЕС — через региональное представительство Tokyo Electron).
2. Предоставьте серийный номер установки и узел, где стоит деталь.
3. Запросите актуальный Part Number — TEL часто заменяет номера при ревизиях (supersession).
4. Остерегайтесь неоригинальных аналогов с маркировкой «совместимо с 1881-022019» — для оборудования TEL это критично для чистоты процесса и гарантии.

Если у вас есть конкретная модель установки TEL — напишите её, и я помогу сузить область применения компонента (по типовым узлам и сериям номеров).