Tokyo Electron 1D10-405111-11 — Описание и характеристики

Описание

Tokyo Electron 1D10-405111-11 — это OEM-компонент (запасная часть) для полупроводникового оборудования Tokyo Electron (TEL). Данный парт-номер относится к категории прецизионных деталей, используемых в установках плазмохимической обработки (etch/deposition) производства TEL.

Компоненты с маркировкой 1D10- традиционно относятся к узлам газораспределительной системы, вакуумной арматуры или механическим частям камеры (в зависимости от конкретной конфигурации установки). Точная функциональная принадлежность определяется по сервисной документации TEL для конкретной платформы.

⚠️ Важно: Tokyo Electron не публикует открытые каталоги с детальными спецификациями OEM-запчастей. Приведённая ниже информация является обобщённой и требует подтверждения через авторизованный сервис TEL или официального дистрибьютора запчастей.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Limited (TEL) | | Парт-номер | 1D10-405111-11 | | Тип компонента | OEM spare part (прецизионный узел) | | Категория | Газовая/вакуумная арматура либо механический узел камеры | | Материал | Нержавеющая сталь / спец. сплавы (уточняется) | | Условия эксплуатации | Вакуум, агрессивные газы, плазма | | Класс чистоты | Semiconductor grade (cleanroom) | | Совместимость | Платформы TEL серий etch/deposition (уточняется) |

Парт-номера

• Основной: 1D10-405111-11
• Родственные/заменяющие номера: не публикуются в открытом доступе; для получения cross-reference необходимо обращение в TEL с указанием серийного номера установки.

Совместимые модели

Официальный перечень совместимых платформ TEL по данному парт-номеру не раскрывается публично. Как правило, детали с префиксом 1D10 применяются в установках:

• TEL Etch (плазмохимическое травление) — серии UNITY, Tactras
• TEL Deposition (CVD/PVD) — соответствующие платформы
• TEL Cleaning — в зависимости от узла

Для точного определения совместимости требуется:

1. Серийный номер вашей установки TEL
2. Обращение в авторизованный сервисный центр TEL
3. Проверка по сервисному руководству (Service Manual) конкретной платформы

Рекомендация: запросите официальный datasheet и cross-reference у представительства Tokyo Electron или у авторизованного поставщика OEM-запчастей (например, через сервисные порталы TEL). Самостоятельная замена компонентов без подтверждения совместимости может привести к повреждению оборудования и потере гарантии.