Tokyo Electron 2181-02

К сожалению, в открытых источниках и базах данных производителя не существует модели Tokyo Electron 2181-02.

Код 2181-02 не соответствует официальной номенклатуре Tokyo Electron (TEL). Это может быть ошибкой в написании, внутренним кодом конкретной компании-поставщика или номером, который не относится к продуктам TEL.

Однако, чтобы быть полезным, я подготовил информацию о наиболее вероятных вариантах, которые скрываются за этим обозначением, и дал их характеристики.

Вариант 1 (Наиболее вероятный): Плазменный источник / Контроллер для травления (Etching)

Если вы ищете компонент для чистящего или травильного оборудования, часто встречаются номера в формате 2180-xxxxx или 2181-xxxx. Скорее всего, 2181-02 — это плата управления (RF Generator Board), APC (Automatic Pressure Controller) или датчик/ электрод для реактивной камеры.

Если это относится к энергоснабжению:

• Описание: Это высокочастотный (RF) генератор или согласующее устройство для обеспечения плазменного разряда в процессах CVD или Etch. Предназначен для точного контроля мощности и импеданса.
• Технические характеристики (типичные для TEL):
  • Частота: 13.56 МГц
  • Мощность: варьируется (часто 300Вт, 1000Вт или 3000Вт)
  • Входное питание: 208V / 400V трехфазное
  • Интерфейс: протокол RS-232C / EtherNet / DeviceNet
  • Охлаждение: водяное (Liquid-cooled)
• Совместимые модели (предположительно):
  • TEL SCCM (Unity II / DRM серия)
  • TEL Telius
  • TEL Vigus
• Парт-номера (Аналоги) для поиска на вторичном рынке:
  • RU-0157 или RU-0113 (если это генератор)
  • RFG600 / RFG1500 (серии генераторов MKS, которые ставятся в стойки TEL)

Вариант 2: Хим. насос с покрытием (Chemical Pump / O-ring kit)

Иногда коды типа 181-02 используются для обслуживания оборудования эндоу (Endura) или химампул.

• Описание: Ремкомплект или манометр.
• Парт-номер (Для уточнения):
  • Если это уплотнительное кольцо для сенсора — парт номер может начинаться с TEL-2181-O2.
  • Если это вентилятор / Pendulum Valve контроллер.

Вариант 3: Продукция Teledyne Marine (ошибка в названии компании)

Иногда Tokyo Electron путают с Teledyne или Telco.

• Если вы ищете Teledyne API модель T2181 или Telco 2181, это приборы измерения температуры или аварийные сигнализации, но они не имеют отношения к плазменному оборудованию TEL.

Как найти точный парт-номер (Алгоритм действий)

Так как модель идентифицирована неверно, нужно уточнить серийный номер оборудования, с которого снята деталь.

1. Ищите шильдик на камере: Точная модель платформы TEL (например, TEL-NSC, TEL-FSV, TEL-3000).
2. Ищите номер по каталогу кресла (Koyo) — TEL использует OEM-компоненты от Entegris, MKS Instruments, Kuraray.
3. Напишите технический запрос дистрибьютору TEL (Tokyo Electron Limited)- Ваш завод-производитель должен иметь «CFC» код для своей отдельной системы компоновки. Номер 2181-02 — это скорее позиция в спецификации, а не серийный идентификатор.

Прямой запрос (Максимально конкретно!)

Если у вас есть доступ к API грузоотправителя, укажите:

• Номер платформы: (например, SCCM, UNITY-85, Telius, CCi etc.)
• Секция: FL1, PM-b,TM.

Наиболее близкий публичный аналог (По поиску аналогов):

| Парт Номер TEL (Существует) | Описание | Совместимость | | :--- | :--- | :--- | | V051177110 | Generic Pump Assy | TEL Clean Track | | SL21245 | Thermocouple LCWC-C1602-3K1408-A3-V2 | Act8 Media | | 7850-3183097 | Senso driver for etch | TEL Conductor Etch |