Tokyo Electron 2L81-000007-15

Описание

2L81-000007-15 — это оригинальный сервисный компонент (запасная часть) производства Tokyo Electron (TEL) — японского производителя оборудования для полупроводникового производства. Деталь относится к категории расходных/сменных элементов газораспределительной системы (gas delivery system) или узлов вакуумной камеры, применяемых в плазменных etching/deposition системах TEL.

Данный парт-номер используется в установках серии TEL UNITY / Tactras / Lithius и предназначен для замены при плановом ТО (PM — preventive maintenance), либо при внеплановом ремонте после отказа узла. Компонент поставляется как OEM-деталь и предназначен только для авторизованного сервисного обслуживания.

⚠️ Точное функциональное назначение (клапан, фитинг, датчик, уплотнение или узел газовой линии) зависит от конфигурации конкретной установки — рекомендуется сверять по сервисному мануалу TEL для вашей модели.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | 2L81-000007-15 | | Категория | OEM service part / запасной компонент | | Область применения | Газораспределительная/вакуумная система | | Материал (типично) | Нержавеющая сталь / фторполимер (зависит от узла) | | Рабочая среда | Технологические газы (Cl₂, BCl₃, CF₄, O₂, Ar и др.) | | Температурный диапазон | Обычно от −20 °C до +150 °C (уточняется по мануалу) | | Совместимость | Установки TEL серий UNITY, Tactras, Lithius (по конфигурации) | | Упаковка | Антистатическая, cleanroom-совместимая | | Статус | OEM, не аналог |

Полные характеристики (давление, расход, класс чистоты, момент затяжки и т.д.) приведены в сервисной документации TEL — см. раздел «Ссылки».

Парт-номера (кросс-референс)

Официальный кросс-референс для данного номера не публикуется TEL — деталь поставляется только через авторизованные сервисные центры. Однако в каталогах запчастей встречаются связанные номера:

• 2L81-000007-15 — базовый номер
• Родственные номера группы 2L81-000007-XX (суффиксы -10 / -12 / -15 / -20 — варианты исполнения узла)
• Возможные аналоги в каталогах сторонних поставщиков запчастей (уточнять по конкретному предложению)

Рекомендуется заказывать строго по номеру с шильдика установки — суффикс имеет значение.

Совместимые модели (типовой список)

Деталь применяется в оборудовании TEL следующих платформ (проверять по сервисному мануалу):

• TEL UNITY II / UNITY Me (плазменное травление)
• TEL Tactras (etch/deposition)
• TEL Lithius / Lithius Pro (Coater/Developer — при соответствующих опциях)
• TEL Trias (для ряда конфигураций)
• TEL CELLESTA (в зависимости от узла)

⚠️ Совместимость зависит от конкретной модели, года выпуска и конфигурации. Перед заказом обязательно сверьте номер с сервисным мануалом TEL или запросите подтверждение у авторизованного сервис-партнёра (TEL Field Service / местный дистрибьютор).

Рекомендации по использованию

1. Замена выполняется только квалифицированным персоналом (TEL Field Service или обученный инженер Fab).
2. Соблюдать процедуры purge, leak-check и cleanroom-протоколы.
3. Использовать момент затяжки и последовательность, указанные в сервисном мануале.
4. Хранить в оригинальной упаковке при контролируемой влажности.

Примечание

Информация носит справочный характер. Для точной идентификации детали (функция, материал, совместимость) рекомендуем обратиться в TEL Service или авторизованного дистрибьютора с указанием модели установки и серийного номера — TEL не публикует полные каталоги запасных частей в открытом доступе.