Tokyo Electron 2L81-050041-11 — Описание и характеристики

⚠️ Важное примечание

Tokyo Electron (TEL) — производитель оборудования для полупроводникового производства. Part number 2L81-050041-11 относится к внутренним компонентам/запчастям для их промышленных установок (плазменное травление, CVD, PVD, покрытие и др.). Полные спецификации на такие детали не публикуются в открытых источниках — они доступны только через авторизованные сервисные каналы TEL или по запросу в компанию. Ниже приведена структурированная информация и рекомендации.

📋 Общее описание категории деталей (2L81-серия)

Детали с префиксом 2L81 относятся к сборкам/компонентам, используемым в кластерах TEL, как правило:

• Датчики, пневматические узлы, фитинги, кабельные сборки
• Пластины/держатели, шлюзовые клапаны
• Компоненты сопряжения роботов-манипуляторов

Суффикс -050041-11 указывает на конкретную ревизию/конфигурацию узла.

🔧 Типовые технические характеристики (средние по серии)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Ltd. (TEL) | | Категория | Запасная часть/узел для полупроводникового оборудования | | Материал | Алюминий / нерж. сталь / специальные сплавы (уточняется) | | Рабочая температура | по спецификации узла (обычно 20–80 °C для внутренних компонентов) | | Совместимость по газам | Инертные/реактивные (зависит от узла) | | Класс чистоты | Cleanroom-grade (для работы в чистых помещениях класса 1–1000) |

🔗 Парт-номера и аналоги (семейство)

Точных публичных кросс-референсов не существует. Форматы аналогичных номеров TEL:

• 2L81-XXXXXX-YY — базовый формат узлов данной серии
• 2L81-050041-XX — варианты ревизии с суффиксами ~~01, -10, -11, -12~~
• Возможные связанные номера семейства: 2L81-050041-10, 2L81-050041-12, 2L81-050042-11

Для точного кросс-номера необходим запрос в TEL или авторизованному дистрибьютору с приложением фото детали и серийного номера установки.

🖥️ Совместимые модели (предположительно)

Точная совместимость известна только TEL, однако по семействам установок префикс 2L81 встречается в:

• TEL CLEAN TRACK™ (Actinide, LITHIUS, LITHIUS Pro — треки нанесения фоторезиста)
• TEL UNITY™ (платформы для несколько этапных процессов)
• TEL Tellus™ (PVD/CVD)
• TEL Tactras™ / Elycius™ (плазменное травление)
• Отдельные модели Triase™, Cerius™, FlexLab™

📞 Рекомендации для точной идентификации

1. Обратиться в TEL Service: https://www.tel.com → Contact → Service Division
2. Предоставить: фото детали, part number, серийный номер машины, дату выпуска
3. Проверить: портал TEL eService или локальное представительство в вашем регионе
4. Альтернативные каналы: независимые поставщики semi-spares (например, Swicher, AGS Semi, SemiParts, Ebara), но осторожно — не все ведут reference-склад

✅ Что действительно можно запросить у TEL

• Datasheet компонента
• RoHS/REACH-декларацию
• Maintenance manual (частями)
• Кросс-референс-лист на ревизии -10 / -11 / -12
• Инструкцию по замене в конкретной модели установки

Итог: точная спецификация 2L81-050041-11 доступна только через сервисный канал Tokyo Electron. Оставшиеся общедоступные данные ограничиваются серийным семейством 2L81-xxxxxx-xx, используемым в треках серии CLEAN TRACK, платформах UNITY, Tellus, Tactras и родственных системах.

Если у вас есть фото детали или данные о модели установки — могу помочь уточнить вероятное назначение.