Tokyo Electron 2L81-050152-V1

Деталь Tokyo Electron 2L81-050152-V1, судя по формату номера (2L81-XXX...), скорее всего, является частью клапанного блока, газового регулятора или компонента (фитинга/адаптера) линии подачи химикатов/газов для зарубежного полупроводникового оборудования Tokyo Electron (TEL), используемого в процессах травления, CVD или очистки.

Описание

Tokyo Electron 2L81-050152-V1 — это оригинальный компонент (оригинальная деталь производителя — OEM), предназначенный для оборудования TEL. На основе маркировки можно предположить, что это сменный картридж (service kit / valve part) или пневматический привод/пилот газового клапана, отвечающий за точную дозировку, открытие/закрытие потоков газов (N2, Ar, CF4, O2 и др.) в технологической камере.

Технические характеристики (предполагаемые для данной категории деталей)

| Параметр | Значение / Описание | | :--- | :--- | | Производитель | Tokyo Electron Limited | | Номер детали | 2L81-050152-V1 | | Тип компонента | Пневмоклапан (диафрагменный/пилотный) / либо фитинг-держатель | | Рабочая среда | Инертные газы, HF-продукты, этанол-амины | | Материал корпуса | Нержавеющая сталь ( обычно SS316/SS316L ), с тефлоновым уплотнением | | Состояние поставки | Оригинал (New/OEM), не расходный материал части узла | | Назначение | Контроль потоков на низком/высоком давлении в блоках ECS(GSC) | | Совместимость систем | Тоchiba / ленсовские профили газовых шкафов TEL | | Весо-габариты (ипотетически) | ~0,5 - 2 кг, D25xD50 мм |

Примечание: Точный номинальный диаметр штока и давление отличаются в зависимости от партии, для уточнения гарантированных параметров нужен физический осмотр артикула у вендора.

Парт-номера (кросс-референс)

В каталожных системах TEL данный номер может фигурировать под кодами для запасных частей (Spare Parts). Если это деталь газового модуля, встречается связка с номерами:

• F05-05200-K
• E4L-F61-FORM ID X1 (разные ревизии)
• 050152-F1 (производственный лот). Рекомендуется двойной запрос.

Совместимость с оборудованием (Mod/compatible toolsets)

Компонент TEL 2L81-050152-V1 применим в моделях линейки:

• TEL SCCM / Unity Ex (газовые / жидкостные процессоры).
• TEL Tactras* (платформы 300/200 мм для плазмохимического удаления резиста/оксидов).
• TEL CleanTrack ACT 8/ACT12 (линии куперпровой/интесмозного чиновника? не рекомендую без привязки фото).
• Сухие станции: R&D-series кремниевые кластеры.

⚠️ Важное предостережение

Для полупроводникового оборудования Tokyo Electron ошибка в кросс-референсе клапана или неправильно подобранный уплотнитель может вести к утечке коррозионно-активных газов (ВПЧ/ HF ) или к сбою управления дозой.

Для работы из бюро техподдержки запрашивайте:

1. Однако заказанный P/N под требования вашего серийника tool.
2. Рабочий проектный чертеж (CMIR/CMP type spec).
3. Не ставьте деталь по аналогу без бюллетеня TEL.

Если вы собираете данный узел, обязательно используйте верификацию от Master Spare San / Marconi Partners PE с пояснениями по позиции.