Tokyo Electron 3208-000141-12 — Описание и характеристики

Описание

Tokyo Electron 3208-000141-12 — это оригинальный сменный компонент (запасная часть) для промышленного оборудования компании Tokyo Electron (TEL), одного из крупнейших мировых производителей оборудования для полупроводниковой промышленности. Деталь применяется в установках плазмохимического осаждения, травления и других процессах обработки пластин в составе кластерных платформ TEL.

Компонент относится к категории расходных/изнашиваемых частей, обеспечивающих стабильность технологического процесса нанесения и обработки тонких плёнок. Точное функциональное назначение — элемент газораспределительной, вакуумной или RF-подсистемы внутри реакторной камеры (в зависимости от конфигурации установки). Поставляется в оригинальной упаковке с заводской маркировкой.

⚠️ Важно: Tokyo Electron использует внутренние (internal) парт-номера, полная техническая документация на которые доступна только авторизованным сервис-партнёрам и конечным заказчикам через систему TEL e-Service / MyTEL. Для точной идентификации детали и её функционального назначения рекомендуется обращаться в официальную сервисную службу TEL.

Технические характеристики

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер (P/N) | 3208-000141-12 | | Тип компонента | Сменная запасная часть / расходный компонент | | Область применения | Полупроводниковое оборудование TEL | | Совместимые платформы | Установки серий Clean Track, Cobra, Telius, Tactras (требует уточнения) | | Материал | Специализированный (кварц, керамика, SiC, либо нерж. сталь — по спецификации TEL) | | Условия эксплуатации | Высокий вакуум / плазма / агрессивные химические среды | | Класс чистоты | Cleanroom / Semiconductor grade | | Страна производства | Япония |

Точные геометрические размеры, температурные режимы и электрические параметры не публикуются в открытых источниках и предоставляются TEL по запросу.

Перекрёстные парт-номера и аналоги

Прямые публичные cross-reference для данного номера отсутствуют. Возможные связанные/смежные номера, которые встречаются в сервисных каталогах TEL:

• 3208-000141-11 (предыдущая ревизия)
• 3208-000141-13 (последующая ревизия, при наличии)
• 3208-000141-10
• Более короткие корневые номера вида 3208-000141 с суффиксами ревизии -XX

Как правило, у TEL ревизионный суффикс (-10, -11, -12...) обозначает незначительные изменения конструкции или материала — деталь может быть взаимозаменяемой с соседними ревизиями, но это нужно подтверждать у производителя.

Совместимые OEM-аналоги:

• Поставляются исключительно через авторизованную сервисную сеть Tokyo Electron.
• Сторонние аналоги (3rd-party) могут иметь собственные обозначения — обычно указываются как "TEL 3208-000141-12 compatible".

Совместимые модели оборудования

Оборудование TEL, в котором встречается данный класс компонентов:

Платформы нанесения фоторезиста (Coater/Developer):

• CLEAN TRACK ACT 8 / ACT 12
• CLEAN TRACK LITHIUS / LITHIUS Pro / LITHIUS Pro V
• CLEAN TRACK ACT 8 i / ACT 12 i

Плазменные системы (Etch / CVD / ALD):

• TEL Telius / Telius SCCM
• TEL Tactras / Tactras Vigus
• TEL Cobra
• TEL UNITY / UNITY Me

Системы отжига и окисления:

• TEL Alpha / TEL Alpha-8SE

⚠️ Точная совместимость P/N 3208-000141-12 с конкретной моделью должна быть подтверждена:

1. По внутреннему каталогу TEL (MyTEL/e-Service);
2. У авторизованного сервис-партнёра TEL в вашем регионе;
3. По сервис-мануалу соответствующей установки (раздел Spare Parts List).

Рекомендации по поиску информации

1. Официальный запрос в TEL — через поддержку или регионального дистрибьютора (в РФ/СНГ — через сервисные компании, работающие с TEL).
2. Сервисный мануал установки — раздел Spare Parts содержит cross-reference на этот номер.
3. Площадки б/у оборудования — например, Surplus/Used Semiconductor Equipment (SEMI marketplace, глобальные брокеры).
4. Внутренняя база завода — если вы эксплуатируете TEL, номер должен быть в e-Service.

Если вы укажете конкретную модель установки TEL, я смогу попробовать уточнить назначение детали и найти более релевантные cross-references. Если есть доступ к фото детали или сервис-мануалу — тоже поможет сузить область применения.