Tokyo Electron 3281-000014-16

К сожалению, по запрашиваемому номеру Tokyo Electron 3281-000014-16 не удалось найти конкретного описания и полных технических характеристик в открытых источниках.

Основная причина в том, что Tokyo Electron (TEL) — это крупнейший производитель оборудования для производства полупроводников (следы, CVD, инжекторы и т.д.). Номера деталей, начинающиеся с формата 3281-xxxxx-xx, обычно являются внутренними номерами запчастей (spare parts) или суб-узлами для конкретных моделей производственного оборудования.

Вот вся информация, которую можно восстановить на основе анализа подобных номеров и стандартной практики TEL:

Вероятное описание:

• Тип изделия: Скорее всего, это сменная деталь, компонент или суб-узел для платформы обработки (process chamber) или модуля переноса.
• Возможное назначение: На основе схожих номеров, это может быть:
  • Керамический элемент (нагреватель, изолятор, распорка).
  • Металлический кронштейн или держатель.
  • Компонент системы подачи газа (сопло, распределитель).
  • Часть системы выравнивания (alignment unit) или сенсора.
• Ключевая особенность: Деталь предназначена для работы в условиях высокого вакуума, высоких температур и агрессивных химических сред.

Предполагаемые технические характеристики:

• Материал: Высокочистая керамика (Al₂O₃, AlN, SiC), нержавеющая сталь (SUS316L, SUS304), специальный сплав (Hastelloy, Inconel) или кварц.
• Чистота и отделка: Высокая чистота поверхности, специальная обработка для снижения выделения газов (outgassing) и предотвращения загрязнения.
• Термостойкость: Рабочая температура может варьироваться от -50°C до +500°C и выше, в зависимости от применения.
• Совместимость со средами: Устойчивость к коррозии от плазмообразующих газов (Cl₂, CF₄, HBr, O₂ и т.д.).

Совместимые модели оборудования Tokyo Electron (TEL):

Это наиболее важная часть. Данная деталь, вероятно, используется в одной или нескольких моделях следов (etch systems) или CVD-систем (систем химического осаждения из газовой фазы). Наиболее вероятные серии оборудования:

• Следы (Etch): Серия TELIUS™ (например, TELIUS Prime, TELIUS Alpha), более старые серии Unity, Mirai.
• CVD/ALD: Серия Trias™, Versalis™, или более ранние Speed.
• Системы очистки: Серия SCCM.

Точную совместимость можно определить ТОЛЬКО по инженерной документации TEL.

Парт-номера и аналоги:

Внутренние номера TEL редко имеют прямые публичные аналоги. Однако могут существовать:

• Внутренний номер производителя: Сам номер 3281-000014-16 является основным.
• Номер для заказа (Ordering Number): Может быть похож или иметь суффикс, указывающий на версию или комплектацию (например, -01, -AS, -BK).
• Номер чертежа (Drawing Number): Часто совпадает с номером детали.
• Альтернативные номера: Может существовать номер для более старой или новой ревизии этой детали.

Рекомендуемые действия для получения точной информации:

1. Обратиться напрямую к Tokyo Electron: Это самый надежный способ. Запрос следует направлять в службу поддержки клиентов (Customer Support) или отдел продаж запчастей (Spare Parts Department) TEL.
2. Проверить документацию на оборудование: В руководствах по техническому обслуживанию (Maintenance Manual), каталогах запчастей (Parts Catalog) или списках деталей (Bill of Materials, BOM) для вашей конкретной установки TEL должен быть указан этот номер с описанием.
3. Обратиться к авторизованным поставщикам запчастей: Компании, специализирующиеся на поставках запчастей для полупроводникового оборудования (например, AIP, AP&S, и др.), могут иметь базу данных по кросс-ссылкам.
4. Уточнить контекст: Знание конкретной модели оборудования (например, TELIUS Prime), модуля и его местоположения, где используется эта деталь, кардинально сузит поиск.

Итог: Tokyo Electron 3281-000014-16 — это специфическая внутренняя деталь для оборудования TEL. Для получения ее точного описания, характеристик и списка совместимого оборудования необходимо использовать официальные каналы связи с производителем или внутреннюю техническую документацию.