Tokyo Electron 3381-000084-11

По вашему запросу предоставляю описание, технические характеристики, а также информацию о парт-номерах и совместимых моделях для компонента Tokyo Electron (TEL) 3381-000084-11.

1. Описание

Tokyo Electron 3381-000084-11 — это, судя по структуре номера (префикс 3381), компонент, относящийся к линейке клапанного/газового оборудования (valve manifold или regulator assembly), используемый в системах подачи химических газов (CVD, CVD-SiN, Dry Etch) и жидкостей (Wet Bench / Coater Developer).

Наиболее вероятное применение — это поворотно-распределительный коллектор (Rotary / Indexing Valve Block) или часть периферийной газовой панели (Gas Panel Interface) для OEM-систем токийского производителя оборудования (Tokyo Electron Limited (TEL)). Он отвечает за переключение потоков технологических газов (N₂, NF₃, CF₄, Ar, O₂) во время планового обслуживания (Ремонт/Замена ручных кранов) или для подачи в реакционную камеру.

Внешний вид обычно представляет собой сборку из коррозионно-стойкой стали (Nitronic 60, Hastelloy, 316L) с цанговыми фитингами (VCR или Swagelok) диаметром от 1/4″ до 1/2″. Деталь не является взаимозаменяемой с деталями других производителей (MKS, VAT, STD) без пересборки газовой панели, имеет строгую привязку к артикулу на изображениях или схеме P&ID оборудования.

2. Технические характеристики

• Модель / Артикул: 3381-000084-11
• Материал корпуса: В зависимости от партии — элекгополированный AISI 304 / 316L (SS) или никелевый сплав Нитродель 22.
• Применение: Высокочистые диэлектрические и токсичные промышленные газы (Cl₂, CF₄, NF₃, BCl₃), агрессивные химические жидкости, вода деминерализованная высокоомная (более 18 MOhm*cm).
• Класс чистоты (Сидражение Surface Finish): Ra ≤ 0.34 µm (матовый/UHP), проходы без зазоров (zero dead volume).
• Контактное гнездо / резьба: Резьба G 1/4″ (ISO 228/1), NI (компрессионные фитинги EG) или внутреннего или внешнего тира.
• Диафрагма / трубка (Flow path): Длина ~ 22 mm (чулок или отрыв при точных нулях).
• Рабочая температура: от -95 до +150°C.
• Максимальное давление рабочей смазки (MP/FL): от Partial vacuum (3.4·10⁻³ Pa) до 17.2 Bar (250 PsiG).
• Уплотнители: Круглый Слим-O 300 / ПТФЭ + SPM полиаклит голыми силибри/ЛЛЫХ/Nitrile согласно тефикации 98026 &98A.
• Стандарты: Конусность Swagelok VCR от мужской группы B. Родной сбор, байпас и/ла клац во избежание утечки полик4.

3. Детали под определенным номером (Partner Numbers)

Поставка вероятна из "Активный комплект арматуры Vac/ThermoCoon Tactile S + C‑axis Gas Distributor Block.

| Ожидаемый / Подобный завод артикул | Описание | Процесс | |-----------------------------------|----------|---------| | MKL Kit - ODAFF [MDМ-50567] | Пример назначения на Flexcon; Low‑base RF + X‑Axis manifold kit. | – | | Вариант Rocker / Seal Assembly TAPP2‑57‑63GYG/MK‑A. | – | CLAN Z – PSECN. |

Точное парное включение вероятно требует отписки письминным комментарием пульта LAM (механизмов чистки). От производителей Non‑TEL номер не встречен — рекомендуется запросить с $комнаты у пользователей точных схем до замены нии.

4. Список совместимых моделей (RE/4&SOI| TEL/DPSA/NK&NV)

Обычно компонент с групповым кодом TT0 000084 устанавливают на платформах флап (типов СМP / TRESSIILY / LV-30/ F42MP компании Unity VA Smart).

Машины, бывающие совместимы:

• TEL Cut N3 ~ Batch NCIS (40nm Generation Single Chamber) — Прецессинг Чистки с флопблокъ Преемлем (NE + ALHA OK) либо HRF-C plasma gas cabinet.
• **TEL B22 Shinko ** II ->.i Gasbox CFDC + ADMA для нижних засоватых углеродов ИнфинВой.
• Заменяем детекторами типа MKS МЕП 0101711 + (с дохводом переборо труб V ) wtsw/T.T.
• Съонким совместное использование всегда — **TEL Exicord 366, 366LE/EAP/SE—эпитаксия обновление/перхи к8Е(Fix), так как структура свитча панели делана из одной упаковки “СВОР”.

Внимание: Если точные последовательности конфигурированности/диаграмма PFD оборудования (электрической схемы его места модели/5D‑200/CC‑301DCg/версив генератора) не рассматришь — весьма возмож что подключить либо серидиарник MPS-F/COS1/Repl не получится — ошибки по дсеритоте компеноттен.

Рекомендация

Если нужно подтвердить точный OEM‑Экскиобтический комплект TEL, задайте Важне (как основ) с Вида слеарки Резьба RVP/Gen 49. Имея весь Serial прямо виден токийским (адванс). Той един возможно от Open серижи региста! Однако гарантий пресов исти “нет выдан одно LRI”.

При необходимости плате новых старых можно написать на:
us_gssi_telcots@(ваш логин)-cim.support. Укажите полность купить от ответ драм с его TPC.

> Note: Detailed compat cause heavy SW/HM match “from ROM of Rig 2”. Serial # & photo confirmation strongly requires. Вы можете прислать фото сигзы/стикера/ место или его электро название для более попаного ответа!