Tokyo Electron 3D10-201358-12

Описание

Tokyo Electron 3D10-201358-12 — это OEM-компонент (запасная часть) для промышленного технологического оборудования Tokyo Electron (TEL), используемого в полупроводниковом производстве. Данный артикул представляет собой прецизионную деталь, применяемую в установках плазмохимического травления (etch), CVD/PVD-системах или оборудовании для нанесения покрытий.

Деталь относится к категории расходных/быстроизнашиваемых компонентов либо узлов камеры (в зависимости от конкретной конфигурации оборудования). Изготавливается из материалов, стойких к воздействию агрессивных сред (плазмы, кислот, высоких температур), и проходит строгий контроль качества в соответствии со стандартами производителя.

⚠️ Примечание: по артикулу 3D10-201358-12 нет открытой публичной документации от TEL — это внутренний парт-номер. Точное функциональное назначение (например, кольцо, диск, крепёж, электрод и т.д.) подтверждается только у авторизованного поставщика или в сервисной документации.

Технические характеристики (типовые, требуют уточнения)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | 3D10-201358-12 | | Категория | OEM spare part / consumable | | Совместимость | Оборудование TEL серий etch/CVD/coater-developer (уточняется) | | Материал | Нержавеющая сталь / керамика / кварц / фторполимер (зависит от узла) | | Рабочая среда | Плазма, агрессивные газы, высокий вакуум | | Температурный диапазон | Зависит от применения (уточняется по спецификации) | | Страна производства | Япония | | Условия поставки | OEM / aftermarket |

Парт-номера (возможные варианты/аналоги)

Единого публичного кросс-референса для этого артикула нет. Обычно в таких случаях учитывают:

• 3D10-201358-12 — базовый артикул TEL
• 3D10-201358 — родительский номер (без ревизии)
• Возможные ревизии: -11, -12, -13 (суффикс обозначает версию/ревизию детали)
• Аналоги от сторонних поставщиков (aftermarket) — обозначаются собственными SKU дистрибьюторов и не являются OEM

Для точного списка парт-номеров рекомендуются запросы: TEL Part Sales, дистрибьюторы запчастей для полупроводникового оборудования (например, специализированные реселлеры).

Совместимые модели оборудования

Прямая публичная матрица совместимости отсутствует. Потенциально деталь применима к установкам TEL, в обозначении которых встречается префикс 3D (обычно это платформы травления/обработки пластин). Для подтверждения совместимости необходимо:

1. Указать серийный номер установки TEL.
2. Запросить config-sheet у сервисного инженера TEL.
3. Сверить артикул с BOM (bill of materials) конкретной модели.

Типовые семейства TEL, где может применяться подобный компонент:

• TEL Tactras (etch)
• TEL Telius (etch)
• TEL Clean Track серии (coater/developer)
• TEL Trias / INDY (CVD/PVD)

Это ориентировочный перечень — точная совместимость требует подтверждения по сервисной документации.

Рекомендации

• Запросите у поставщика datasheet и сертификат origin.
• Проверьте ревизию детали (суффикс -12) — несовпадение ревизии может привести к несовместимости.
• Для критичных узлов камеры используйте только OEM-детали — aftermarket может влиять на равномерность процесса и ресурс оборудования.

Если у вас есть доступ к внутренней документации TEL или вы знаете конкретную модель установки — уточните, и я помогу конкретизировать характеристики и совместимость.