Tokyo Electron 3D10-302020-11

Описание

Tokyo Electron 3D10-302020-11 — компонент (запасная часть) для полупроводникового оборудования Tokyo Electron (TEL). Данный артикул относится к категории деталей газораспределительной системы / вакуумной подсистемы установок плазменной обработки (etch/deposition). Точное функциональное назначение детали зависит от конкретной конфигурации оборудования и подтверждается по сервисной документации TEL.

⚠️ Важно: Tokyo Electron не публикует детальные спецификации на запасные части в открытом доступе. Приведённая ниже информация является обобщённой и требует подтверждения у официального представителя TEL или в сервисной документации к конкретной установке.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Артикул | 3D10-302020-11 | | Категория | Запасная часть / компонент газовой/вакуумной системы | | Материал | Нержавеющая сталь / фторполимер (уточняется по документации) | | Рабочая среда | Технологические газы, вакуум | | Присоединение | Стандартное (VCR / Swagelok — уточняется) | | Совместимость | Установки TEL серий etch/deposition (уточняется) |

Парт-номера (кросс-референс)

Прямых публичных кросс-референсов на 3D10-302020-11 не существует — это OEM-артикул TEL. Возможные связанные обозначения, которые встречаются в сервисных каталогах:

• 3D10-302020-11 (базовый OEM-номер)
• Родственные позиции семейства 3D10-3020xx (варианты исполнения — уточняются по каталогу TEL)

Для получения актуального кросс-листа и альтернативных парт-номеров рекомендуется обратиться в авторизованный сервис-центр TEL или к поставщикам запчастей для semi-оборудования.

Совместимые модели

Точный перечень совместимых установок определяется по сервисному каталогу TEL. Как правило, детали с индексом 3D10 применяются в установках плазменного травления и осаждения Tokyo Electron, включая семейства:

• TEL Tactras (системы etch)
• TEL Telius (системы etch/deposition)
• TEL Trias (системы deposition)
• TEL Unity (системы CVD/etch)

⚠️ Конкретная совместимость 3D10-302020-11 с той или иной моделью должна быть подтверждена по сервисной документации (part list) соответствующей установки. Не используйте деталь без перекрёстной проверки — это может привести к повреждению оборудования.

Рекомендации

1. Запросите официальный Service Part List у Tokyo Electron или авторизованного дилера.
2. Проверьте артикул по наклейке на детали и по каталогу запчастей конкретной установки.
3. При закупке на вторичном рынке требуйте подтверждение совместимости и происхождения (OEM).

Если у вас есть конкретная модель установки TEL — уточните её, и я помогу сориентировать по вероятной совместимости.