Tokyo Electron 3D86-050940-V1

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для Tokyo Electron 3D86-050940-V1.

Общее описание

Tokyo Electron 3D86-050940-V1 — это сопло (форсунка, распылитель) для химического раствора, ключевой компонент модуля обработки жидкостями (Liquid Processing Unit) в кластере очистки (Cleaning Process Module) оборудования для производства полупроводников, такого как скраберы (очистители) серии TEL SCP или SCE.

Его основное назначение — точное дозирование и равномерное распределение химических реагентов (например, SC-1, SC-2, DHF, растворителей) или деионизованной воды (DIW) по поверхности кремниевой пластины (wafer) в процессе влажной химической очистки, травления или промывки.

• Тип: Сопло для жидкостной обработки / Распылительная форсунка.
• Материал: Высокочистый фторполимер (например, PFA, PTFE) или кварц. Это обеспечивает химическую стойкость к агрессивным кислотам и щелочам, а также минимальное выделение частиц и металлических примесей.
• Конструкция: Предназначена для установки в манипулятор или блок распылительных форсунок (nozzle bar/block). Имеет резьбовое или быстроразъемное соединение для подвода жидкости и точно калиброванное выходное отверстие для формирования струи или факела распыла.

Технические характеристики (типовые)

Конкретные параметры зависят от процесса, но общие характеристики таковы:

1. Назначение жидкости: Для химических реагентов (кислоты, щелочи) или DIW.
2. Тип потока: Ламинарная струя или распыление (спрей).
3. Расход жидкости: Оптимизирован под конкретный процесс (например, от 0.5 до 2.0 литров в минуту при заданном давлении).
4. Давление подачи: Рабочее давление в системе подачи химии (обычно несколько атмосфер).
5. Угол распыла/струи: Определяет зону покрытия на пластине.
6. Чистота материала: Высший класс, соответствует стандартам SEMI для частиц и ионов.
7. Термостойкость: Рабочая температура до 80-100°C, в зависимости от материала.

Парт-номера (Part Numbers) и Аналоги

Номер 3D86-050940-V1 является внутренним артикулом Tokyo Electron (TEL). В зависимости от цепочки поставок и года производства, этот же физический компонент может иметь другие номера, в том числе от производителя-изготовителя.

Важные примечания:

• V1 в конце номера часто обозначает версию (revision) компонента. Устаревшие или модифицированные версии могут иметь маркировки V0, V2 и т.д.
• TEL часто заказывает компоненты у специализированных производителей (OEM). Поэтому совпадение физической формы и функции не гарантирует химической или механической идентичности при использовании неоригинальной детали.

Вероятные альтернативные или перекрестные номера:

• 3D86-050940 (базовая версия без ревизии)
• 3D86050940V1 (вариант написания без дефисов)
• Номера от производителей-поставщиков TEL, таких как Entegris, Saint-Gobain, Fujikin (например, серии FPP, FPM для фторполимерных деталей). Для точного определения требуется консультация с инженером по запчастям или поставщиком.

Совместимые модели оборудования (Platform Compatibility)

Данное сопло совместимо с кластерами влажной очистки Tokyo Electron (TEL) следующих серий:

• SCP (Single-wafer Clean Process) серии:
  • SCP-6000 (и его вариации: SCP-6500, SCP-6800)
  • SCP-5000
  • SCP-3000
• SCE (Single-wafer Clean Etch) серии:
  • SCE-2000
• Модули очистки в кластерных системах: Может использоваться в качестве компонента для очистки в других кластерных инструментах TEL, где установлены аналогичные модули жидкостной обработки (например, на платформах CELLESTER, MERCURY).

Конкретный процессный модуль внутри этих инструментов, где применяется сопло:

• Cleaning Process Module (CPM)
• Liquid Processing Unit (LPU)
• Nozzle Bar / Nozzle Block в указанных модулях.

Критически важно: При заказе или замене данного компонента необходимо:

1. Сверить точный номер модели инструмента (например, SCP-6500).
2. Уточнить номер конкретного процессного модуля (Chamber ID).
3. Проверить ревизию (V1) в спецификации оборудования, так как более новые версии модулей могут требовать обновленных ревизий компонентов.
4. Всегда консультироваться с технической документацией на инструмент (Parts List) или со специалистами службы поддержки оборудования (Equipment Engineer).