Техническое описание: Tokyo Electron 808-521630-1

Описание

808-521630-1 — это каталожный парт-номер компонента для оборудования Tokyo Electron (TEL) из линейки полупроводникового технологического оборудования. Данный номер относится к категории запасных частей/расходных компонентов, используемых в установках TEL для производства полупроводниковых пластин.

Компоненты с подобными парт-номерами (формат 808-XXXXXX-X) в номенклатуре TEL обычно относятся к деталям газораспределительных систем, узлов вакуумных камер, механических манипуляторов пластин или элементов систем откачки/напуска газов. Точная функциональная принадлежность зависит от конкретной конфигурации установки.

Важно: Tokyo Electron не публикует открытые (публичные) каталоги с полными спецификациями для большинства парт-номеров запасных частей — эта информация доступна только авторизованным сервисным партнёрам и через закрытые порталы TEL (TEL Service Portal). Поэтому приведённые ниже данные являются обобщёнными и требуют подтверждения у официального поставщика.

Технические характеристики (типовые/ориентировочные)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | 808-521630-1 | | Категория | Запасная часть / компонент оборудования | | Тип оборудования | Полупроводниковое технологическое оборудование (etch, CVD, PVD, cleaner, coater/developer и др.) | | Материал | Как правило — нержавеющая сталь, Al-сплавы, керамика или высокочистые полимеры (зависит от узла) | | Совместимость с чистыми помещениями | Да (класс ISO 4–5 и выше, в зависимости от узла) | | Условия эксплуатации | Вакуум / агрессивные газы / плазма (зависит от конкретного применения) |

⚠️ Точные размеры, допуски, материал, давление, температуры и электрические параметры не публикуются в открытом доступе и должны запрашиваться у TEL или авторизованного дистрибьютора.

Парт-номера (связанные/смежные)

Прямых «кросс-референсов» для TEL в открытых источниках не публикуется. Однако в номенклатуре TEL встречаются соседние номера того же формата:

• 808-521630-1 (основной)
• 808-521630-2 / -3 — возможные ревизии/модификации
• 808-52XXXX-X — семейство компонентов того же узла

Список ревизий и замен требует проверки через TEL Service Portal или у авторизованного сервис-партнёра.

Совместимые модели (предположительно)

Парт-номера формата 808-XXXXXX-X в TEL традиционно ассоциируются с оборудованием следующих платформ (требует подтверждения):

• TEL CLEAN TRACK (ACT-8, ACT-12, LITHIUS, LITHIUS Pro)
• TEL Etch (Tactras, Telius)
• TEL CVD/ALD (Trias, TELINDY)
• TEL Thermal (Alpha-8, Alpha-303i)
• TEL Wet Clean (CELLESTIAL)

⚠️ Критически важно: приведённый список — ориентировочный. Точный перечень совместимых моделей и установок необходимо уточнять по сервисной документации TEL, так как один и тот же номер может использоваться в разных платформах.

Рекомендации по получению точной информации

1. Официальный запрос в TEL через службу поддержки или TEL Service Portal (доступ для клиентов с сервисными контрактами).
2. Авторизованные дистрибьюторы запчастей для полупроводникового оборудования.
3. Сервисные компании (independent service providers) — например, поставщики refurbished-оборудования TEL.
4. Проверка на вторичном рынке (used semiconductor equipment) — там часто указывают совместимость.

Если у вас есть фотография детали, контекст узла (например, «gas box», «wafer chuck», «ESC», «robot blade») или модель установки, я смогу дать более точное описание и сузить список совместимых платформ. Также уточните, нужна ли информация для закупки, ремонта или подбора аналога — от этого зависит формат ответа.