Tokyo Electron 881-620160

Описание

Tokyo Electron 881-620160 — это оригинальная запасная часть (компонент) для полупроводникового оборудования производства компании Tokyo Electron (TEL). Данный парт-номер относится к категории расходных/сменных компонентов, используемых в установках плазменной обработки, травления или осаждения (в зависимости от конкретной конфигурации оборудования).

Компоненты с данным парт-номером применяются в системах газораспределения, вакуумных узлах или узлах подачи рабочих сред. Деталь обеспечивает стабильность технологического процесса и герметичность/точность работы соответствующего узла.

Примечание: Точное функциональное назначение (клапан, фитинг, датчик, уплотнение и т.д.) следует уточнять по сервисной документации TEL, так как парт-номер относится к внутренней номенклатуре компании и не всегда публично раскрывается в открытых каталогах.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | 881-620160 | | Тип | Сменный компонент / запасная часть | | Область применения | Полупроводниковое производственное оборудование | | Совместимость | Установки TEL серий для плазменной обработки / CVD / PVD (уточняется по конфигурации) | | Материал | Зависит от узла (нерж. сталь, керамика, полимер — уточняется) | | Условия эксплуатации | Вакуум / агрессивные среды (в составе установки) | | Страна производства | Япония (как правило) |

Парт-номера (взаимозаменяемые / связанные)

• 881-620160 — основной парт-номер
• Родственные номера той же группы узлов TEL обычно имеют формат 881-6XXXXX; конкретные взаимозаменяемые аналоги зависят от ревизии узла.
• Для точного подбора аналога рекомендуется сверка по сервис-мануалу установки (Parts List) с указанием серийного номера машины.

Совместимые модели

Компонент применяется в оборудовании Tokyo Electron, преимущественно в установках:

• Серии CLEAN TRACK (литографические треки — ACT-8, ACT-12, Lithius, Lithius Pro и др.) — для узлов обработки
• Серии плазменного травления (например, Telius, Tactras, Vigus и аналогичные)
• Серии CVD/ALD/PVD (в зависимости от конфигурации)
• Отдельные модели диффузионных печей и систем отжига

⚠️ Важно: Конкретная совместимость с моделью и ревизией установки должна подтверждаться по официальному Parts List TEL или через авторизованного поставщика запчастей. Парт-номера TEL часто привязаны к конкретной ревизии узла и могут незначительно отличаться для разных поколений машин.

Если вам нужно, могу помочь составить запрос в сервисную службу TEL или подобрать аналог по функциональному узлу — уточните, в каком узле установки используется деталь.