Tokyo Electron 881-621470-1

Описание

Tokyo Electron 881-621470-1 — оригинальная запасная часть (компонент) для технологического оборудования компании Tokyo Electron (TEL), используемого в производстве полупроводников. Данный парт-номер относится к категории изнашиваемых/сменных компонентов камеры обработки (детали газораспределения, крепежа, уплотнений или элементов подложкодержателя — точная категория зависит от конкретной конфигурации оборудования).

Компоненты с маркировкой 881-621470-1 поставляются как оригинальные запчасти TEL (OEM) и применяются при плановом обслуживании, капитальном ремонте и замене изношенных узлов в установках травления, осаждения или очистки пластин.

⚠️ Примечание: Tokyo Electron не публикует полные публичные спецификации на все сервисные парт-номера. Для точной идентификации детали (материал, чертёж, допустимый ресурс) рекомендуется запросить datasheet у официального представителя TEL или в сервисном центре.

Технические характеристики (типовые для компонентов данной серии)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | 881-621470-1 | | Тип | Оригинальная запасная часть (OEM) | | Категория | Компонент камеры обработки / сервисная деталь | | Материал | Зависит от узла (нерж. сталь, Al₂O₃-керамика, кварц, полимеры — уточняется по чертежу) | | Совместимость | Установки TEL серий для плазменного травления/осаждения (уточняется по модели) | | Условия эксплуатации | Вакуум, агрессивные плазмохимические среды | | Ресурс | Определяется регламентом ТО оборудования |

Парт-номера (связанные/альтернативные)

• 881-621470-1 — базовый номер
• Возможные модификации с суффиксами ревизий (например, -2, -3) — уточняются у TEL
• Аналоги от сторонних поставщиков (aftermarket) могут иметь собственные внутренние артикулы — не являются OEM

Точный список cross-reference номеров доступен только через сервисную документацию TEL.

Совместимые модели

Компонент относится к платформе оборудования Tokyo Electron для производства полупроводников. Совместимость с конкретными моделями (например, установками травления серий Tactras, Telius, UNITY, или системами осаждения/очистки) необходимо подтверждать по сервисному руководству конкретной установки — привязка парт-номера к модели осуществляется через BOM (bill of materials) оборудования.

Рекомендуемый порядок проверки совместимости:

1. Найти парт-номер в BOM вашей установки (раздел spare parts).
2. Сверить ревизию детали.
3. Подтвердить у официального поставщика TEL.

Дисклеймер: данные носят справочный характер. Для закупки, точных характеристик и подтверждения совместимости обращайтесь к официальному дистрибьютору Tokyo Electron или в авторизованный сервисный центр — это исключит риски установки несовместимого компонента.