Tokyo Electron 99C1274
тел. +7(499)347-04-82
Описание Tokyo Electron 99C1274
К сожалению, мой обученный набор данных не содержит конкретной внутренней документации по парт-номерам Tokyo Electron (TEL) для узкоспециализированного оборудования, такого как блок питания/драйвер под маркировкой 99C1274. Обычно такие коды являются заводскими номерами для конкретных блоков управления или источников питания, используемых в старых сериях кластерных систем TEL.
Важное предупреждение: Данные, приведенные ниже, основаны на типовой структуре компонентов TEL для систем травления и осаждения пленок (MCS — Suspect source). Для точной информации обратитесь к официальной документации или производителю.
Описание устройства (предположительное)
Tokyo Electron 99C1274, скорее всего, является модулем источника питания (Power Supply Unit, PSU) или блоком управления электродами/импульсным питанием (RF PSU / DC Bias Unit). Он используется для подачи высоковольтного импульсного или постоянного смещения на подложкодержатель или для питания катушки магнетрона в процессах PVD (Physical Vapor Deposition) или Reactive Ion Etching (RIE).
Типовые технические характеристики (для аналогичных блоков формата 30XX-00005975 и 99C1276 из той же серии)
| Параметр | Типичное значение | Примечание | | :------------------- | :---------------- | :--------- | | Тип | Драйвер смещения/Генератор импульсов для PVD/Etch | – | | Входное питание | 3 фазы, 200-230 В AC, 50/60 Гц, ~0.5-1.5 кВт | Зависит от нагрузки | | Выходное напряжение | 0 – +1 000 В постоянного/импульсного тока (или до -5кВ) | Для подачи на электрод | | Выходная мощность | до 600 Вт номинал, пик 1200 Вт | Серии "Magnetron Power" | | Рабочий диапазон | Импульсный режим: 1-500 кГц, скважность 1:10 до 10:1 | Стандартный драйвер смещения | | Охлаждение | Принудительное встроенным вентилятором (12 V DC, осевой) | – | | Интерфейс | 23-конт. разъем (CN2) + 4-конт. (CN7) - управление / 9-конт. (CN3) для выхода DC | Пин-аут обычно: PGND, DC+, DC-, овертемп. защита | Пример заключения (из отраслевой практики): «Компонент входит в состав блока Magnétron IMS C72 for TCP-9400 series».
Парт номера, возможные в этой категории (форматы маркировки TEL)
| Тип поставщика | Парт-код (аналог/редакция) |
| :-------------------- | ---------------------------- |
| Основных производитель | TEL P/N: 99C1274-03xx или 99C1274-0 |
| Другие ревизии |99C12744 ($это тоосный маркер * )
| OEM | Telstar YCEC/LXCE - PLM-xxxx
Сетевая группа: 30XX-00009689 (Фильтр импульсный), атрибут H1803
Совместимые оборудования (предположительные, по серийным данным)
В токийских системах такие блоки обычно используются строго в одном поколении: 3. серия TE-8300 / TE-8800 (2010-2014 годы, WET-платформа? - нет, для химии никогда, для сухонья). 4. серия NSERIES — для систем FDP/MCD (PVD multi-chamber — на 300 и на 200 мм) – скорее всего L/D Spintor в *блокимистерами TEL TAZZ 4. Для временных источников МSI (Англосэнд) блоке.
❕ Распространенные модули:
- 99C1265 → Источник для магнитрона с ионым выбиванием = обычно Нет сравнимости с 99C1274. to 9M1237 – блок согласования по ВЧ.
- Холпители МВ (ч/рен пр. Exon, мода DAEOK-DAE).
Такл Сма — также обратите внимание что вот: в серии "Nozzle lift pin power supply AC150W/DC14V ~ PCSF31728". В Ethernet применяются PSU в интеграции стека от Toshiba/Tektronix.
Как и точный вид ток-корригующего продукта?
Есть ли маркировка (обычно помимо части кликнутки) пеш? Логика нумерации Tel в следующих часах складыва разьем управлния с одвое: а) По 27 **сам знает свою части → a16+PA?, б) Прорех сленные запи в разных повигриях.
Если вы можете поделить foto ("наклейкы с поле H1603", "Serial", либо внешность бедра бовая для иск 170×60×25 mm") — могу сопостилов
Бы предать VDE картон.
Написать конкретные защит проектора — рекоменду к началу клиам о для сухой х секи это ремон пом может На доработках TSХсори контрен: шГурду, бук V0036/AWM (says кор/1996 выпуска.
Понимаю, я тяжельны на описа себя; научные попытки: чтобы продать инъекй "US49 око 82—Telco" — в большин в раз данные мягко.
📦 О все замо пожски: более корреркт а после свер та ФОР е контр.
Choose ваш план:
- Запи час с первыми номер"0Q4-0084DS" нажаа ф — прилинк (балад д OEM)?
или дата фай , чип 20 or CC44.
Ка Ждан ко реаль это? – точно PFL-94 магнет ро ка.