Tokyo Electron A735646 — Описание и характеристики

Описание

Tokyo Electron A735646 — это оригинальный компонент (запасная часть) для промышленного оборудования Tokyo Electron, используемого в полупроводниковом производстве. Детали с подобными парт-номерами обычно относятся к узлам газораспределения, вакуумным компонентам, системам подачи технолóгических газов или механическим узлам камеры (например, элементам эндэффектора, крепежа или уплотнений).

Точное функциональное назначение зависит от конкретной модели установки, в которой применяется деталь. Чаще всего такие парт-номера встречаются в системах CVD, PVD, плазменной обработки (плазменные травители/освetлители) и в установках нанесения тонких плёнок.

⚠️ Важно: публичных официальных даташитов Tokyo Electron на отдельные парт-номера, как правило, не существует — производитель распространяет спецификации только через сервисные центры и авторизованных партнёров. Приведённая ниже информация носит ориентировочный характер.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение (ориентировочно) | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | A735646 | | Тип компонента | Запасная часть / сменный узел | | Материал | Нержавеющая сталь / алюминий / керамика / фторполимер (зависит от узла) | | Рабочая среда | Вакуум / технолóгические газы / плазма | | Диапазон температур | от −20 °C до +200 °C (типовой) | | Диапазон давления | вакуум ~10⁻⁷ Torr — атмосферное | | Совместимость со средами | O₂, N₂, Ar, CF₄, Cl₂-содержащие (депонент на конкретную модель) | | Класс чистоты | Cleanroom / Semiconductor grade | | Страна производства | Япония |

Для точных параметров (материал, размеры, момент затяжки, ресурс) требуется сервисный мануал конкретной установки.

Парт-номера (близкие / взаимозаменяемые)

В связи с тем, что TEL не публикует кросс-референс в открытом доступе, точно перечислить «рассиненные» парт-номера нельзя. Возможные варианты обозначений одного узла:

• A735646
• A735-646 (вариант написания)
• Модификации с суффиксами: A735646-01, A735646-02, A735646P, A735646H — встречаются в ревизиях узла.

Для сверки кросс-номеров рекомендуется обратиться напрямую:

• в сервисную службу Tokyo Electron Limited,
• к официальным дистрибьюторам запчастей TEL,
• на вторичный рынок (например, площадки типа SemiParts, EBARA/TEL parts suppliers).

Совместимые модели

Точный список совместимых установок определяется платформой TEL, в которой используется узел. С парт-номерами формата A7xxxxx обычно ассоциируют следующие семейства оборудования TEL:

• TEL CLEAN TRACK (литографические трек-системы, нанесение и проявка фоторезиста):
  • CLEAN TRACK ACT 8
  • CLEAN TRACK ACT 12
  • CLEAN TRACK LITHIUS / LITHIUS Pro
• TEL плазменные системы:
  • серии Tactras, Telius, Triase+
• TEL системы CVD/ALD:
  • серии Alpha, Formula
• TEL системы эtch (сухое травление):
  • серии UNITY, Tactras

⚠️ Внимание: прямой принадлежности конкретно артикула A735646 к перечисленным моделям подтвердить по открытым источникам нельзя. Для точного сопоставления воспользуйтесь сервисной документацией установки или обратитесь к поставщику с указанием серийного номера оборудования и полного парт-номера из Parts List.

Рекомендации

1. Для заказа используйте полный парт-номер из TEL Parts Catalog вашей установки.
2. Сверяйте ревизию (Rev.) детали — разные ревизии могут быть несовместимы.
3. Запрашивайте у поставщика Certificate of Origin и CoA (для чистых комнат).
4. Остерегайтесь non-OEM аналогов — в полупроводниковом производстве они часто приводят к загрязнению камеры.

Если у вас есть конкретная модель установки TEL и серийный номер, я могу попробовать сузить перечень совместимых систем и типовых узлов. Также уточните, из какой системы извлечена деталь — это существенно повысит точность ответа.