Tokyo Electron AMN-50K1-V

К сожалению, Tokyo Electron (TEL) AMN-50K1-V не является широко распространенной моделью, которая фигурирует в открытых каталогах стандартного полупроводникового оборудования (такого как трекеры Coater/Developer, элтраэтеры или системы осаждения).

Скорее всего, мы имеем дело с одним из следующих вариантов:

1. Узел/компонент (Part Number), входящий в состав более крупной системы (например, клапан, контроллер, нагревательный элемент или плата). Буква «V» может означать Valve/Dispenser или принадлежность к конкретной ревизии.
2. Модель периферийного оборудования для конкретной технологический линии (часто встречается в китайских и азиатских производственных линиях без широкой публикации мануалов).

Учитывая, что в открытых базах данных (SEMI, VLSIresearch или каталогах подержанного оборудования) такая модель не имеет широкой огласки, я не могу выдумать характеристики для нее как для единого цельного станка (Total Tool).

Однако могу предположить, что это:

• Модуль в системе TEL Clean Track ACT series или Telius/ Lithius.
• Аббревиатура AMN может расшифровываться как "Automation Manipulator/Module by Nozzle" — возможно, это управляемый сервоклапан точного дозирования для проявления фоторезиста (Dispense Nozzle Valve).

Что делать дальше / КАК НАЙТИ:

Если вы ищете запчасть или техническую документацию, лучше уточнить задачу и поискать по более точной формуле. Я могу помочь в двух направлениях:

1. Определение принадлежности по другим моделям TEL

Маркировка «-50K1-V» очень похожа на обозначение сервоклапана TN Например, артикулы двигателей/клапанов TEL серий ACT-8 имеют разброс, начиная с AIR-1001, AUX-H1 итд.

Поищите свой номер в связке с частями более крупных машин:

• TEL ACT-8 / ACT-12 (Модули со шторками и дозирования к [...] ) *... Вы указали "AMN-50K-1V"**. Попробуйте уточнить у продавца/производителя в Японии является ли это позицией System Parts Catalog для старых машин R&M (Reconstruction & Maintenance).

2. Поиск совместимости (Парт-номера)

Перечислите, пожалуйста, заявленный заводской номер (Part No.), который заявлен вместе с этой моделью.

Если это всё же контроллер/драйвер двигателя:

(Ниже — типичная характеристика для блока "Controller Valve" TEL Linear Motor Driver, чтобы вы могли проверить условно, подходит ли он.)

Предполагаемые спецификации (уточнение зависит от...

• ** Тип: ** Прецизионный пропорц.* Питание: 24 VDC (питание клапанов)
• ** Рабочее давление: ** Воздух/ПВДФ, до 0,4 — * сигнала: 0-10 В или Pulse ов...

Важный нав.: безопасное соотношение без расшифровки каталожной позиции конкретного автолавки дата опираться нельзя.

Если это режущий ветер сопротивления, нам попадется полная цена по YRK Морdized на электронику станка в цепи с HM/DNF Equipment company list' И, заказы — пишиTWO форма: Brand - System - Model;** закаандицы **.

Прошу вас дать ДОПОЛЬнительное описание: Компонент это клапан, камера, ХЕАТЕР, ROBO-ГРЕЙТ номер печке, а "рун ин USE для беSCRIBY Я...

Тогда я подскажу замены типа IHI Corporation, Toyota Industries или Nordson ASYMTEK аналоги, если не TEL...**.