Tokyo Electron AP9E-0994B

Описание

Tokyo Electron AP9E-0994B — это промышленный компонент (запасная часть) для полупроводникового оборудования производства корпорации Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из крупнейших мировых производителей оборудования для производства полупроводников и дисплеев.

Данный артикул относится к категории сервисных/сменных деталей, используемых в установках TEL (плазменные травители, CVD/PVD-системы, установки нанесения фоторезиста и прочее оборудование кластера). Точная функциональная принадлежность детали (клапан, датчик, узел крепления, элемент газовой/вакуумной системы или электрики) определяется по сервис-мануалу конкретной установки — TEL не публикует открытые каталоги для таких номеров.

Такие компоненты поставляются через авторизованные сервисные каналы TEL и предназначены для замены при плановом ТО или ремонте оборудования.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Limited (TEL), Япония | | Артикул (Part Number) | AP9E-0994B | | Категория | Запасная часть / сервисный компонент | | Назначение | Полупроводниковое производственное оборудование TEL | | Тип поставки | OEM (оригинал) | | Состояние | New / Refurbished (в зависимости от поставщика) | | Упаковка | Антистатическая, согласно стандартам TEL |

⚠️ Важно: конкретные электрические/механические параметры (напряжение, давление, материал, габариты) для данного артикула в открытых источниках не публикуются. Для точных данных необходима сервисная документация TEL или запрос в авторизованный сервис-центр с указанием модели установки.

Парт-номера (кросс-референс)

| Номер | Примечание | |---|---| | AP9E-0994B | Основной артикул | | AP9E-0994 (без суффикса B) | Возможная базовая версия/модификация | | AP9E-0994A | Предшествующая ревизия (требует проверки совместимости) |

Кросс-номера указаны ориентировочно — официальный перечень замен предоставляется TEL.

Совместимые модели

Прямой публичный список совместимых установок для AP9E-0994B отсутствует. Как правило, детали с префиксом AP9E применяются в оборудовании TEL следующих платформ (требуется подтверждение по сервис-мануалу):

• Tactras (плазменное травление)
• Telius (плазменное травление / CVD)
• Clean Track серии (ACT, Mark — нанесение/проявление фоторезиста)
• Alpha серии (CVD/PVD)
• INDY (литография, треки)

Рекомендации по применению

1. Для подтверждения совместимости используйте сервисный мануал установки или Parts List конкретной машины.
2. Запрос в авторизованный сервис TEL с указанием серийного номера оборудования — единственный надёжный способ верификации.
3. При закупке на вторичном рынке проверяйте ревизию (A/B) и состояние.

Если уточните, для какой именно установки TEL нужна деталь (модель/платформа), можно сузить список совместимости и найти более точные характеристики.