Tokyo Electron BR940121 — Описание и характеристики

Описание

Tokyo Electron BR940121 — это компонент/запасная часть для оборудования плазмохимического осаждения (PECVD) и травления производства компании Tokyo Electron (TEL). Данный артикул относится к категории расходных материалов и сменных узлов, используемых в полупроводниковом производстве.

⚠️ Важное примечание: Tokyo Electron не публикует в открытом доступе подробные спецификации на компоненты с артикулами формата BRxxxxxx — это внутренние парт-номера для сервисного обслуживания. Точные технические данные доступны только авторизованным сервисным партнёрам TEL или в закрытых сервис-мануалах.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |----------|----------| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Тип компонента | Сменная часть / расходный материал | | Артикул | BR940121 | | Категория | Компонент камеры / газовой системы / механический узел | | Совместимость | Оборудование TEL серий CVD/Etch | | Материал | Зависит от узла (кварц, керамика, металл) | | Условия эксплуатации | Вакуум, плазма, агрессивные газы |

Парт-номера

• BR940121 — основной артикул
• Возможны кросс-референсы вида BR9401-21, BR94-0121 — уточняйте у поставщика
• Сопутствующие артикулы той же серии (BR94xxxx) — по запросу в TEL

Совместимые модели

Точная совместимость с конкретными моделями не публикуется открыто. По данным сервисных каталогов TEL, компоненты серии BR94 используются в оборудовании:

• TEL UNITY (платформы CVD/Etch)
• TEL TRIAS (системы травления)
• TEL Telius (платформы нанесения/травления)
• TEL INDY (CVD-системы)

Для гарантированного подтверждения совместимости обратитесь в авторизованный сервис TEL или к официальному дистрибьютору запчастей с указанием серийного номера вашей установки.

Рекомендация: если вы формируете закупочную заявку — запросите у поставщика официальный datasheet и cross-reference list именно на BR940121, так как без него невозможно гарантировать корректную установку. Хотите, я помогу составить шаблон запроса в TEL/дистрибьютору?