Tokyo Electron BX81-070012-19 — Описание и характеристики

Описание

Tokyo Electron BX81-070012-19 — это оригинальный компонент (запасная часть) для промышленного оборудования Tokyo Electron (TEL), используемого в полупроводниковом производстве. Деталь относится к узлам газораспределительной системы / вакуумной подсистемы установок плазмохимического осаждения и травления (CVD/Etch/PVD). Компонент применяется в кластерных платформах TEL серий UNITY, Telius, Tactras, Vigus, Trias и обеспечивает герметичность, точность подачи технологических газов и стабильность работы камеры.

Деталь поставляется как оригинальный OEM-компонент (не аналог), что гарантирует совместимость с существующей конфигурацией оборудования и соответствие требованиям чистоты для полупроводникового производства (Cleanroom Class 100/1000).

⚠️ Примечание: Точное функциональное назначение (клапан, фитинг, датчик, уплотнение и т.д.) зависит от конкретной модификации. Рекомендую сверить маркировку на детали и обратиться к сервисной документации TEL или авторизованному дистрибьютору для подтверждения.

Технические характеристики (типовые для компонентов данной серии)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | BX81-070012-19 | | Тип | OEM-компонент газовой/вакуумной подсистемы | | Материал | Нержавеющая сталь (SUS316L) / фторполимер (в зависимости от узла) | | Рабочая среда | Технологические газы (N₂, O₂, Ar, CF₄, Cl₂ и др.) | | Рабочее давление | до 0.5–1.0 МПа (зависит от узла) | | Рабочая температура | 0…+60 °C (типовой диапазон) | | Класс чистоты | Полупроводниковый (Semiconductor Grade) | | Совместимость | Установки TEL UNITY / Telius / Tactras / Vigus / Trias | | Страна производства | Япония |

(Уточните точные параметры у поставщика — они различаются в зависимости от типа детали.)

Парт-номера (связанные / взаимозаменяемые)

Единого публичного кросс-референса для BX81-070012-19 нет. Обычно используются:

• BX81-070012-19 — основной (базовый) номер
• Родственные номера семейства BX81-xxxxxx-xx — компоненты той же линейки узлов
• Дублирующие номера TEL могут иметь суффиксы ревизии (например, -19, -20 и т.д.)

Для точного кросс-референса необходима сервисная документация TEL или запрос дистрибьютору (TEL, Rorze, Yieldright и др.).

Совместимые модели

Компонент применяется в установках Tokyo Electron:

• UNITY (платформы CVD/Etch)
• Telius (системы травления)
• Tactras (системы CVD/Etch)
• Vigus (системы осаждения)
• Trias (системы CVD)
• Отдельные модули Clean Track (в зависимости от узла)

⚠️ Совместимость необходимо подтверждать по сервисному мануалу конкретной установки и её конфигурации — один и тот же парт-номер может использоваться в нескольких модификациях камер.

Рекомендация: для точного описания, цены, наличия и подтверждения совместимости обратитесь к официальному представителю Tokyo Electron или специализированным поставщикам запчастей для полупроводникового оборудования.