Tokyo Electron CP-8350C

Описание

Tokyo Electron CP-8350C — промышленная установка плазмохимического осаждения (PECVD — Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) из линейки Concept Two компании Tokyo Electron (TEL). Оборудование предназначено для нанесения тонких диэлектрических плёнок (SiO₂, SiN, SiON, аморфный кремний) на полупроводниковые пластины в производстве интегральных схем.

Установка относится к классу кластерных платформ с индивидуальной обработкой пластин (single-wafer processing) и используется на этапах производства логических и memory-микросхем, а также в MEMS и силовой электронике. Характеризуется высокой однородностью покрытия, контролем напряжения плёнки и низкой термической нагрузкой на подложку.

⚠️ Примечание: Точные данные по конкретной ревизии CP-8350C различаются в зависимости от конфигурации камер и года выпуска. Ниже приведены типовые/справочные значения — уточняйте по сервис-мануалу конкретного модуля.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Тип процесса | PECVD (плазмохимическое осаждение из газовой фазы) | | Платформа | Concept Two (кластерная, с центральным роботом) | | Обрабатываемые подложки | 200 мм (8"), опционально 150 мм | | Количество камер осаждения | 1–3 (в зависимости от конфигурации) | | Тип камеры | Одночёночная, с параллельными электродами (parallel plate) | | Частота ВЧ-генератора | 13,56 МГц (типовое значение) | | Рабочее давление | ~0,1–10 Торр (диапазон процесса) | | Температура подложки | ~200–400 °C | | Осаждаемые плёнки | SiO₂, SiN, SiON, a-Si, TEOS-оксид | | Источники газов | SiH₄, N₂O, NH₃, N₂, TEOS (через испаритель), O₂, Ar | | Однородность плёнки | ±3–5 % (типовое) | | Производительность | ~30–60 пластин/час на камеру (зависит от процесса) | | Управление | Кластерный контроллер + PC-интерфейс | | Питание | 3-фазное, 380/400 В (уточняется по шильдику) | | Габариты (платформа) | ~2,5 × 2,0 × 2,0 м (ориентировочно) |

Парт-номера (справочно)

Точных публичных каталогов парт-номеров TEL не публикует — ниже приведены типовые форматы обозначений и наиболее часто встречающиеся в сервисной документации позиции. Полный перечень содержится в Parts List конкретной установки.

• CP-8350C — базовое обозначение модели (платформа + 1 камера)
• CP-8350C-xx — суффикс конфигурации (число камер, тип робота, поколение контроллера)
• Типовые заменяемые узлы (примеры категорий):
  • Камера осаждения в сборе (Chamber Assembly)
  • Верхний электрод / showerhead (Gas Distribution Plate)
  • Нижний электрод / нагреватель (Heater / Pedestal)
  • ВЧ-генератор и согласующее устройство (RF Generator + Matching Network)
  • Турбомолекулярный насос и сухой насос (TMP / Dry Pump)
  • Клапаны газовой панели (MFC, пневмоклапаны)
  • Робот-манипулятор и end-effector
  • Контроллер, платы ввода-вывода, источник питания

Для точных парт-номеров необходим Parts List / Service Manual по серийному номеру вашей установки — рекомендую запросить в TEL Service или у официального дистрибьютора.

Совместимые модели (платформа Concept Two / линейка CP)

• CP-8350 (базовая модель, предшественник/родственная серия)
• CP-8360 / CP-8380 — варианты линейки Concept Two PECVD
• CP-8351 / CP-8150 — модификации с иной конфигурацией камер
• Совместимость по расходным материалам и узлам часто сохраняется внутри серии CP-83xx / CP-81xx
• Платформа Concept Two также используется в сериях I-серии (etch) и Clean Track — часть общих узлов (робот, контроллер, газовые панели) может быть взаимозаменяема

⚠️ Фактическая совместимость узлов проверяется по сервис-мануалу и Parts List конкретных машин — межмодельный обмен деталями без сверки не гарантируется.

Рекомендация: для получения точных парт-номеров, спецификации по вашей ревизии и списка совместимых конфигураций обратитесь в сервисную службу Tokyo Electron с серийным номером установки — это единственный надёжный источник, так как публичной полной документации по CP-8350C в открытом доступе нет.