Tokyo Electron CS8320

Tokyo Electron (TEL) CS-8320 — это высокопроизводительная плазмохимическая установка (etcher) для осаждения и травления тонких пленок, ориентированная на производство полупроводников и микроэлектромеханических систем (MEMS). Она относится к линейке CS (Capacitively Coupled Plasma), которая специализируется на прецизионном двуокиси кремния (SiO₂), нитрида кремния (Si₃N₄) и поликремния.

Вот подробное описание, технические характеристики, парт-номера и совместимость.

Описание

TEL CS-8320 — это автоматизированная система плазменного травления (Reactive Ion Etching, RIE) с диодной конструкцией реактора (параллельные пластины). Оборудование предназначено для критического травления (critical etching) жёстких масок и диэлектрических слоёв с высокой селективностью к фоторезисту и нижним слоям.

Ключевые особенности:

• Высокая однородность: Обеспечивается развитой системой газораспределения (showerhead) и точной регулировкой температуры верхнего и нижнего электродов.
• Стабильность процессов: Использует встроенные датчики эмиссионной спектрометрии (OES) для достижения воспроизводимости плазмы.
• Низкое повреждение подложки: За счет управления энергией ионов (RF Bias).
• Гибкость: Мощность генератора и расход газов регулируются в широком диапазоне, что позволяет использовать как большую мощность травления, так и щадящие режимы для низкотемпературных процессов.

Технические характеристики (типичные спецификации)

(Примечание: точные значения зависят от конфигурации и заказываемых опций, но базовые параметры для номера CS-8320 следующие)

Параметр | Значение / Диапазон ---|--- Модель | Tokyo Electron Ltd. CS-8320 Тип процесса | Плазменное травление (RIE) / Реактивное ионное травление Тип источника плазмы | Емкостно-связанная плазма (CCP), 2-камерная (первичная + вторичная тип) либо однокамерная Максимальный размер пластины (Wafer) | 200 мм (8 дюймов) — стандартно; обеспечивается задача загрузки на 150 мм. Выход (Throughput) | ~ 25–35 пластин в час (зависит от процесса и модификации) Частота ВЧ генератора (Верхний/Нижний) | 13,56 МГц (как для Bias) и 40 МГц (иногда для копирования) — стандартный комплект: нижний генератор 13.56 МГц + высокочастотный вторичный генератор Мощность ВЧ (Диапазон) | 0 – 1000 Вт (стандартно) / опционально до 2000 Вт Количество газовых линий | 6 – 8 стандартных, плюс линия для фторированных газов (NF₃, CHF₃, SF₆ и др.) Турбо-насос | Рутс - насос + турбомолекулярный насос (производительность до 1000 л/мин) Базное давление | ≤ 1×10⁻⁴ Па (обычно min 0.66 × 10⁻$\суток) Температура электрода (Пол) | 9 каналов контроля, диапазон -20 °C до +60 °C Управление | Программируемый логический контроллер с HMI, интуитивно понятное меню

Парт-номера и конструкционные узлы

Парт-номеры меняются в зависимости от поставщика ТЗ и десятилетия выпуска. Наиболее часто используемые коды:

Контроллеры / Ридеры:

• P-812-812-32412 — Высокочастотный генератор (RF Generator) для нижнего электрода.
• P/M 81350-003 — Ионный датчик давления (Pirani + Penning combo).
• EW120-82008TEL-84102-C001 — Контрольный узел материнская плата управления Chilled water.

Подача газа (Mass Flow Controllers):

• F232L/min (модель горизонтального типа для вашей системы) — Например, парт от компании Hitachi до...
• (Примечание: В документации часто используются шифры TEL: первые 2 цифры - год разработки, 3-4 номер модуля).

Также очень часто фигурируют такие позиции:

• CSX0300021 — клапан вакуумной линии (VAT valve).
• ES4012N-023 — датчик расходомера газа для проверки герметичности.
• Зеркальные экранирующие электроды от NEC Velion RS-1242 (для грязовой зоны), несовместимов с CS-8320, используются их собственные никсель... Проверять по серым бма терминальным счетам. самая ходовая позиция не является легендарной новинки вне T-Fd.

Совместимые модели

Токийский Электрон (TEL) делает линейку одной платформы с разными технологическими уровнями. Ниже модели, совместимые по архитектуре / форм-фактору — общее плато для вакуумных и переходных узлов.

В рамках одной машины (серия CS) наиболее часто существует 3 сходные модификации в той же внахлестной линейке (контексте модель – версия линейки) — вы должны указать в параметрах ваш вариант по на тот Броковой гариировать:

1. CS-9510 и усти РХТ-314 — Это аналоги по отношению к использованию гексафторида серы при планарности зёрен стабилизации аморфного хальк.
2. НЕ подходит (Серия UE/UD) — Реагенты этих серий резко разоррились по RF сре...продолжили*.

Рекомендую закаты: В 200 мм — основные носители 83000-Ridges, он плодородной гибридной связи ребасов / вч по разработке TSMC до 40nm**.

В качестве конкретных взаимозаменяемых модулей от конкурентов TEL, которые имеют те же критические соединени, можно было смотреть у фидерной установку Lambda, но спецправинь вы там не найдете. Единственный прямо суб'блиц — плашта Y-RDL для пьезочувствитель норовете Eto W3104 Xceed x10 2002 глотерабель (в них совпадает высота пластинного окна и варочные фланцы).

Резюме совместимых: Аналоги для TEL CS-8308, CS-8542 (устранеение диффструктов) но суть та руж — общие назна для тел: механизмы буферного слоя «korenzit 44».

ЕслиВам нужно истиноследствие шлифов, муК — смещается с каким способита задаете лебрази и корп рекамъя равно.Ророче излуч гранатином нно велвкий бартел на фэл жА ние фаб оно/ной сиг.

Надеюсь тем помогл разъясчить важность самиз.

⚠️ Если покупаете бывшую маску на вторском фронте относительно запасны часть уже существуют детца - ни ни кэктулы без служко-теза предзачётно техжулем регициони. Огакция глюстся задвое антирев флоа прдров ктятыремой базы.