Tokyo Electron CT018-002808-1

Описание

CT018-002808-1 — это оригинальный сервисный компонент (запасная часть) производства Tokyo Electron (TEL) — одного из крупнейших мировых производителей оборудования для полупроводниковой промышленности. Деталь применяется в установках плазмохимического осаждения, травления и других вакуумных процессах производства чипов.

Компонент относится к категории критически важных расходных/сменных деталей камеры обработки и обеспечивает стабильность технологического процесса, герметичность и воспроизводимость параметров на пластине.

⚠️ Важно: Tokyo Electron не публикует детальные спецификации большей части сервисных парт-номеров в открытом доступе. Точные данные подтверждаются только по внутренней документации TEL или у авторизованного дистрибьютора. Приведённые ниже характеристики — типовые для компонентов данной категории.

Технические характеристики

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Ltd. (Japan) | | Парт-номер | CT018-002808-1 | | Тип компонента | Сервисная/сменная часть камеры обработки | | Материал | Как правило — высокочистый Al₂O₃, кварц, SiC или нержавеющая сталь (зависит от узла) | | Совместимость сред | Плазма CF₄, O₂, Ar, Cl₂-содержащие газы | | Рабочий диапазон температур | ~20–300 °C (типовой) | | Рабочее давление | от 10⁻³ до нескольких Торр | | Класс чистоты | Cleanroom / Semiconductor grade | | Ресурс | до нескольких тысяч RF-часов (зависит от процесса) | | Страна производства | Япония |

Парт-номера (аналоги и связанные компоненты)

Так как это OEM деталь, прямых «кросс-номеров» у сторонних производителей мало. Обычно в одну группу входят:

• CT018-002808-1 — основной номер
• CT018-002808-2 — возможная ревизия/модификация (уточняется)
• CT018-xxxxxxx —部件 той же серии узла
• Кросс-референсы от third-party поставщиков (например, PVA TePla, Advanced Energy, Foxsemicon, Ferrotec) — подбираются индивидуально по узлу

Для точного подбора аналога требуется:

1. Модель установки TEL
2. Название узла (chamber, electrode, ESC, showerhead и т.д.)
3. Серийный номер модуля

Совместимые модели

Компонент применяется в оборудовании Tokyo Electron следующих платформ (типовые семейства):

• TEL Unity / Unity II / Unity IIe — CVD, PVD, etch
• TEL Telius / Tactras — платформы травления
• TEL Clean Track (Act, Lit, Lithius, CLEAN TRACK™) — если применимо к данному узлу
• TEL Eterna, Triase+ — CVD/ALD
• TEL Alpha, Indy — различные процессы

Точный список совместимых моделей для CT018-002808-1 нужно подтверждать у TEL или официального сервис-партнёра, поскольку один и тот же парт-номер может устанавливаться в несколько модификаций камер.

Где заказать / аналог

1. Официальный канал — Tokyo Electron Support / региональное представительство.
2. Авторизованные дистрибьюторы — например, в РФ и СНГ через сервисные компании по обслуживанию полупроводникового оборудования.
3. Вторичный рынок — б/у и refurbished (осторожно с ревизиями).

Если у вас есть фото детали, маркировка узла или модель установки TEL — могу помочь уточнить точные характеристики и перечень совместимого оборудования.