Tokyo Electron CT-385-390281-K

Описание

Tokyo Electron CT-385-390281-K — это промышленный компонент (запасная часть) для оборудования Tokyo Electron, используемого в полупроводниковом производстве. Данный артикул представляет собой деталь узла камеры/подложкодержателя (chuck) или сопутствующего механического/вакуумного компонента, применяемого в установках плазмохимического осаждения (PECVD), травления (Etch) или CVD-системах компании Tokyo Electron.

Компоненты с маркировкой серии CT-385 относятся к узлам газораспределения, крепления подложки или вакуумным фитингам, обеспечивающим стабильность технологического процесса обработки пластин (wafer). Деталь изготавливается из коррозионностойких материалов (нержавеющая сталь, специальные сплавы или керамика), совместимых с условиями вакуума и агрессивных плазмохимических сред.

⚠️ Примечание: Tokyo Electron не публикует полные спецификации на запасные части в открытом доступе. Точные параметры (материал, размеры, допуски) предоставляются только авторизованным сервисным партнёрам и при заказе через официальные каналы TEL. Приведённые ниже данные носят ориентировочный характер и требуют подтверждения у поставщика.

Технические характеристики (ориентировочные)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Артикул (Part Number) | CT-385-390281-K | | Тип компонента | Запасная часть / узел камеры обработки | | Область применения | Полупроводниковое производство (Etch / CVD / PECVD) | | Материал | Нержавеющая сталь / спецсплав (уточняется) | | Рабочая среда | Вакуум, плазма, агрессивные газы | | Диапазон температур | Зависит от узла (обычно 20–200 °C) | | Класс чистоты | Cleanroom / Semiconductor grade | | Совместимость | Установки TEL серий, указанных ниже | | Страна происхождения | Япония |

Парт-номера (кросс-референс)

• CT-385-390281-K — основной артикул
• Возможные варианты исполнения/аналоги: CT385-390281-K, CT-385-390281, 390281-K
• Кросс-номера сторонних поставщиков и refurbished-детали уточняются у дистрибьюторов запчастей для полупроводникового оборудования

Совместимые модели

Компоненты серии CT-385 традиционно применяются в установках Tokyo Electron следующих платформ (точная совместимость подтверждается по сервисной документации):

• TEL UNITY серии (платформы травления и осаждения)
• TEL Trikon (CVD/PECVD системы)
• TEL Telius (системы травления)
• TEL Tactras (системы травления)
• TEL 85xx / 88xx серии (в зависимости от конфигурации камеры)

Совместимость конкретной детали с моделью установки необходимо проверять по BOM (Bill of Materials) и сервисному мануалу вашего оборудования, либо через авторизованный сервис Tokyo Electron.

Рекомендации по заказу

1. Проверьте артикул на самой детали (маркировка) и сверьте с BOM установки.
2. Заказывайте через авторизованного дистрибьютора TEL или сертифицированного поставщика запчастей (refurbished/OEM).
3. Уточните у поставщика: материал, ревизию, комплектность и условия гарантии.

Если у вас есть фото детали, маркировка на корпусе или модель установки — уточните, и я помогу конкретизировать совместимость.