Tokyo Electron D37-F60

Описание

Tokyo Electron D37-F60 — это компонент (деталь) для полупроводникового оборудования производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из крупнейших мировых производителей оборудования для изготовления полупроводников и Flat Panel Display (FPD).

Такие компоненты с маркировкой формата "D37-XXXX" обычно относятся к запасным частям (spare parts) для установок травления (Etch), CVD, PVD, очистки (Cleaning) или нанесения фоторезиста/проявления (Coater/Developer) производства TEL. Конкретно детали серии D37 чаще всего встречаются в системах Tokyo Electron Clean Track (например, серии CLEAN TRACK ACT) и в плазменных системах травления (серии Tactras, Telius, UNITY и др.).

⚠️ Важно: точное функциональное назначение и спецификация детали D37-F60 в открытых источниках не публикуется — данные сведения распространяются только через авторизованные сервисные каналы TEL и предназначены для владельцев оборудования по договорам поддержки.

Технические характеристики (обобщённые)

Поскольку деталь является OEM-компонентом и полные спецификации защищены, ниже приведены типовые параметры для запчастей этой категории:

| Параметр | Значение (ориентировочно) | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Ltd. (TEL), Япония | | Тип | Запасная часть / узел оборудования | | Категория | Компонент камеры / газовой системы / робота-манипулятора | | Материал | Нержавеющая сталь / алюминий с покрытием / керамика / фторопласт (зависит от узла) | | Совместимые среды | Вакуум, плазма, агрессивные химические реагенты | | Рабочая температура | зависит от узла (обычно до 200–300 °C для камерных деталей) | | Ресурс | Регламентируется TEL |

Парт-номера (Part Numbers)

Полный каталожный номер имеет вид:

• D37-F60 — базовый (короткий) номер детали
• Возможны расширенные форматы: D37-F60-XX, D37F60, а также номера с префиксами/суффиксами ревизий (например, -01, -02, -A, -B)

Из-за политики TEL полный перечень суб-парт-номеров доступен только через официальную систему заказа запчастей (TEL Customer Support, e-Support) или у авторизованных дистрибьюторов (например, через RORZE, или сервисных партнёров в регионе).

Совместимые модели

Прямая совместимость D37-F60 публично не документирована. С учётом того, что компоненты серии D37 применяются в установках TEL, вероятные области применения:

• CLEAN TRACK серии: ACT 8, ACT 12, CLEAN TRACK ACT 8/12, CLEAN TRACK LITHIUS, LITHIUS Pro, LITHIUS Pro Z
• Плазменные системы травления TEL: UNITY, Telius, Tactras, Vigus
• Системы CVD/PVD: Trias, а также отдельные модули Alpha и ADF
• Установки очистки: серии CELLESTA, настольные и линейные модули

Точный перечень совместимых установок определяется по сервисной документации TEL (ESM, IPC-Playbook, PDA-система) и по внутреннему cross-reference каталогу запчастей.

Рекомендации по приобретению

1. Официальный канал — обратиться в сервисный центр Tokyo Electron в вашем регионе (TEL Europe, TEL America, TEL Korea, TEL Taiwan и т.д.).
2. Авторизованные партнёры — RORZE Corporation, Sumitomo, а также крупные реселлеры запчастей (например, SemiSource, Surplus Solutions — с проверкой подлинности).
3. Вторичный рынок — мировые площадки SurplusGLOBAL, IGLT, eBay B2B (с осторожностью — риск контрафакта).

При заявке сообщайте именно полный номер детали с ревизией и серийный номер установки, чтобы получить корректный кросс-референс.

Дисклеймер: приведённое выше описание основано на общей информации о продукции Tokyo Electron и типовых принципах маркировки запчастей. Для точных характеристик, схем, парт-номеров и списка совместимого оборудования необходимо запросить официальную спецификацию у Tokyo Electron Limited или авторизованного сервисного партнёра.