Tokyo Electron DI48D064 — Описание, характеристики и совместимость

Описание

Tokyo Electron DI48D064 — это компонент (деталь) для оборудования производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из мировых лидеров в области производства полупроводникового оборудования (травление, осаждение, очистка пластин, нанесение фоторезиста и др.).

Данный артикул относится к категории запасных частей / сменных компонентов для установок TEL (например, серий Clean Track, Etch System, Coater/Developer). Подобные детали обычно представляют собой:

• Керамические или кварцевые компоненты камеры
• Детали газораспределительной системы
• Изоляторы, держатели, фитинги
• Компоненты вакуумной или RF-системы

⚠️ Важно: Tokyo Electron не публикует открытые datasheet на запасные части. Полная спецификация (материал, допуски, ресурс) доступна только авторизованным сервис-партнёрам TEL или в закрытых каталогах запчастей. Публично доступной информации по артикулу DI48D064 крайне мало — он распространяется по внутренней номенклатуре TEL.

Технические характеристики (типовые для деталей данной категории)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Ltd. (TEL) | | Артикул (Part Number) | DI48D064 | | Тип компонента | Сменная деталь оборудования (уточняется по каталогу TEL) | | Категория | Запчасть для полупроводникового оборудования | | Совместимые серии | Clean Track / Etch / Coater-Developer (требует проверки) | | Материал | Уточняется (керамика / кварц / металл в зависимости от узла) | | Условия эксплуатации | Вакуум / плазма / агрессивные среды (вероятно) | | Ресурс | Определяется регламентом ТО TEL | | Упаковка | Cleanroom-упаковка |

Парт-номера (Part Numbers)

Точный список кросс-номеров публично не подтверждён. Как правило, у таких деталей есть:

• Основной PN: DI48D064
• Возможные варианты написания: DI48D064-01, DI48D064A, DI-48D064
• Альтернативные внутренние коды TEL (rev./revision) — уточняются у поставщика

Для поиска аналогов и замен рекомендуется обращаться к:

• Официальному сервису TEL
• Авторизованным дистрибьюторам запчастей (например, через B2B-платформы: Octopart, Findchips, специализированные поставщики semi parts)

Совместимые модели

Без официального каталога TEL точно назвать модели невозможно. Предположительно деталь совместима с установками серий:

• TEL Clean Track (Act / Mark серии — Coater/Developer)
• TEL Etch Systems (например, серии для плазменного травления)
• TEL Alpha / Telius / Tactras (в зависимости от узла)

📌 Для точного определения совместимости необходим ремонтный мануал (Service Manual) или Parts Catalog соответствующей установки TEL. Артикул DI48D064 следует искать по индексу запчастей конкретной модели.

Рекомендации

1. Запросите подтверждение PN у поставщика — попросите фото детали и её маркировку.
2. Проверьте по серийному номеру установки — TEL присваивает совместимость по конфигурации tool.
3. Используйте авторизованные каналы — non-OEM детали могут снизить выход годных пластин.
4. Проверьте rev.Level — у TEL часто несколько ревизий одной детали.

Если у вас есть фото детали, маркировка на корпусе или модель установки TEL, — пришлите, и я помогу точнее идентифицировать компонент и подобрать аналоги.