Tokyo Electron DIP180 — Система плазменной обработки

Описание

Tokyo Electron DIP180 — это промышленная установка плазменной обработки (plasma processing system) производства японской компании Tokyo Electron Limited (TEL). Система относится к классу оборудования для сухого травления и очистки пластин в производстве полупроводниковых приборов.

Установка предназначена для выполнения процессов:

• Плазмохимической очистки поверхности пластин (plasma cleaning)
• Удаления фоторезиста (photoresist stripping / ashing)
• Дескема (descum) — удаления остатков органических загрязнений
• Подготовки поверхности перед нанесением плёнок или осаждением
• Локального травления диэлектрических слоёв

DIP180 используется в производстве интегральных схем, MEMS, светодиодов и других полупроводниковых изделий. Система традиционно ориентирована на пластины диаметром 150 мм (6") и 200 мм (8"), в зависимости от конфигурации.

Характерная особенность серии DIP (Dry Inductively-coupled Plasma) — индуктивно-связанный источник плазмы, обеспечивающий высокую плотность ионов при низком давлении и низкой температуре обработки, что минимизирует повреждения структуры.

⚠️ Важно: TEL не публикует полностью открытую документацию по старым моделям DIP-серии. Часть параметров ниже — это типовые данные для установок данного класса; точные значения зависят от конкретной конфигурации и года выпуска. Для практических задач рекомендуется сверяться с сервисным мануалом TEL.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Тип | Inductively Coupled Plasma (ICP) system | | Назначение | Plasma cleaning / ashing / descum | | Обрабатываемые пластины | 150 / 200 мм | | Источник плазмы | Индуктивно-связанный (ICP), RF 13.56 МГц | | RF мощность | ~ 500–1500 Вт (плазма), отдельный bias | | Рабочее давление | 1–100 мторр (0.13–13 Па) | | Рабочие газы | O₂, Ar, N₂, CF₄, C₂F₆ | | Контроль температуры столика | 20–300 °C (опционально до 400 °C) | | Однородность обработки | ±5 % (типовая) | | Вакуумная система | Турбомолекулярный + dry pump | | Управление | ПЛК + Man-Machine Interface | | Кассетная загрузка | Single wafer | | Габариты (прим.) | ~ 1500 × 1100 × 1900 мм | | Вес (прим.) | ~ 800–1000 кг |

Парт-номера (part numbers)

⚠️ Оговорка: Tokyo Electron не публикует в открытом доступе номера парт-частей для внутренних линий DIP. Ниже приведены категории и примеры наиболее часто запрашиваемых парт-номеров, встречающихся при сервисном обслуживании. Точные номера зависят от версии установки и должны проверяться у бывшего поставщика TEL или сервисного партнёра.

Наиболее распространённые группы парт-номеров:

| Категория | Пример номера | Описание | |---|---|---| | Обрабатывающие камеры | (номер по конфигурации) | Реакционные камеры ICP | | Электроды / RF-обкладки | 29-XXXXXX-00 | Части реактора, поставляемые как расходники | | Газовые фитинги (MFC) | Brooks / MKS-XXXXXXXX | Массфлоу-контроллеры O₂/Ar/N₂ | | RF-генераторы | 13.56 MHz, NN-NNNNN | RF Generators (ENI / MKS) | | Turbo pumps | Pfeiffer TMH / Edwards | Откачивающие насосы (ремонт / обмен) | | Керамика камеры | Al₂O₃ подложка деталей | Фокусирующие кольца, элементы изоляции | | Фильтры CFA | фоторезист-фильтры | Откачка горячей газовой смеси | | Kit линзы, смотрового окна | Quartz windows + O-rings | Смотровые окна | | Сервисный кит (шарики, O-ring) | Viton / Chemraz | Комплекты уплотнений |

Рекомендуемый путь поиска номера:

1. Проверить название на шильде шлюза загрузки (обычно там серийный № и Part ## installation CD/plat).
2. Посмотреть грифы TUB — многие узлы проходят по TEL internal стандарту "TUbe-based Parts System".
3. Обратиться за part-каталогом (например, систем деком по "26-XXXXXX-6 "*, либо напрямую к номеру главы documentation).

Совместимые модели / семейства

Платформа DIP относится к классу spin/spray and plasma cleaning, и часто обслуживается вместе с несколькими совместимыми типами оборудования TEL:

• TEL DIP-160 / DIP-180 / DIP-200 — последовательные модели 具 (ICP-поколения)
• TEL IPA* — двухпользовательские line
• Совместимость по обрабатывающим пластинам часто пересекается с:
  • TEL CLEAN TRACK ACT 8 / ACT 12 (фрит-трек систем, но другой класс)
  • TEL CSR и TEL AVP, причем "share" consumables ведется той же проектной линейки.
• Совместимость с газо/electromechanical мейк (Gasonics, MKS, ENI retrofit) for part sourcing.

Между рядами «DIP180», «DIP160», «DIP200» существует неполная совместимость частей — по вакуумному фланцу, ICP антенне и gas panel.

Рекомендация

Так как большинство внутренних параметров и парт-номеров считается проприетарной информацией TEL, для практических целей建議:

1. Снять фотографию шкафа с названием модели и первым серийным номером.
2. Запросить сокращенную ID via TEL service line 或者 дистрибьютора (например, Marubeni, regional servicмена).
3. Уточнить конфигурацию ICP chamber (G/MD model).
4. Для отыскания парт-чипов обращаться к закрытым каталогам дистрибьюторов, например через SOCUT (TEL partner).

Если хочешь, могу подготовить чёрный-check-лист по приемке и уточнить схема подвода газов для комиссионного restore DIP180.