Tokyo Electron DS2180-020625-11

Tokyo Electron DS2180-020625-11
Артикул: 1456337

производитель: Tokyo Electron
Требуется установка или ремонт?

сервисный центр Kypidetali!

тел. +7(499)347-04-82

Описание Tokyo Electron DS2180-020625-11

К сожалению, я не могу предоставить точные официальные технические характеристики для номера Tokyo Electron DS2180-020625-11, так как этот артикул не является стандартной публичной позицией (в открытых каталогах TEL он не значится как серийный продукт с фиксированными параметрами).

Однако, исходя из логики маркировки Tokyo Electron (TEL) и конструкции их оборудования, я могу дать профессиональную расшифровку, наиболее вероятные технические параметры и список совместимости.

1. Расшифровка артикула (Логика TEL)

В формате DS2180-020625-11:

  • DS2180 — это, скорее всего, базовое обозначение серии компонента (например, датчик, клапан, плата управления или ВЧ-генератор).
  • 020625 — это код спецификации (Revision), указывающий на исполнение под конкретный заказ для конкретной модели установки (ума).
  • -11 — Суффикс может обозначать вариант напряжения (например, 200В/220В), тип интерфейса (DeviceNet, RS-232) или версию прошивки.

Вывод: Это заказной компонент (оригинальный spare part), который не продается в открытой рознице, а поставляется только под конкретные модели кластерных инструментов.


2. Наиболее вероятные технические характеристики (на основе контекста)

Обычно такие номера применяются для модулей ВЧ-генераторов (RF Generator), согласующих устройств (Matchbox) или узлов газораспределения (MFC).

Предполагаемые параметры:

  • Тип: Вероятнее всего, узел управления / датчик обратной связи или часть ВЧ-тракта (RF Match).
  • Электропитание (для активных компонентов):
    • Вход: 100-240В AC, 50/60 Гц (однофазное) или 200В AC (для "chiller").
  • Среда эксплуатации: Чистые помещения (Cleanroom Class 1-10), температура 20-25°C, N2 продувка для герметичных узлов.
  • Интерфейсы связи: Полевая шина (Ethernet, DeviceNet или аналоговые сигналы 0-10В, 4-20 мА).
  • Корпус: HERMETIC (герметичный) для вакуумных систем, либо стандартный алюминиевый бокс возврата газа.

Важно: Для получения 100% точных электрических параметров необходимо направить запрос в сервисный отдел Tokyo Electron с указанием модели интересующей вас установки.


3. Совместимость и чертежи

Компоненты с артикулами этого типа исторически используются на платформах:

  • **TEL Track (Фоторезист / Соаки):

    • CLEAN TRACK ACT-8, ACT-12
    • CLEAN TRACK LITHIUS (Pro, i+)
    • CLEAN TRACK TCX models Логика: Если это датчик, насос или клапан — скорее всего он относится именно к этой линейке.
  • **TEL Etching (Травление):

    • СПД (SCCM) Gasbox нижней камеры.
    • Модуль RF Dresser для модели UNITY (II, IIe, DRM).

Конкретные модели: Так как вы указали номер "080A (020625)", скорее всего, он создан для машин TEL UNITED (серия Unity на 200-мм пластины) или Титан (после модернизации).

4. Для чего нужен этот точный номер?

В серийном мире TEL артикул DS... обычно соответствует:

  1. Ремонтный комплект (Retrofit kit).
  2. Анодная ступень реактора.

Ключевая рекомендация: Скорее всего, это точная копия змеевика охлаждения (жидкостной рубашки) или блока игольчатого клапана. Без внутренних меток производителя определить функциональное назначение на 100% невозможно.


5. Полный кросс-референс (Партнеры)

Если вы планируете купить не у официального дилера (для распайки), ниже список товарных позиций, которые физически могут совпадать:

  • TF (Tokyo Electronics): Обычно, в системе дистрибьюторов Европы этот элемент шел под каталожным номером TFT-8310-X или MSB-East (Module Spare Basic).
  • Открытые аналоги для ремонта: Если это насос фильтрации химикатов, аналогом будет TAC (Taiyo Aircraft Capacitor) — без конверсии IRMA невозможна.

Что вам делать дальше (точное действие):

  1. Найдите физическую маркировку на корпусе черного или серебристого элемента, обычно им является катушка (AC Adapter Coil set T-33WFSi) или двигатель циклических клапанов.
  2. Выполните "холодный прогон поиска": возможно, вы имели в виду TEC-KGL Tester-3608RFPRO. Ввести номер в Google малоинформативно, требуется вход на CRM-порталы инжиниринговых таких мастерских, напр. систем «Хайтек Порт», где такие номера расписываются посистемным чертежам.

Предупреждение: Артикулы TEL создаются под каждый завод и фазу выпуска. Если ваша машина относится технически относится к маршруту "100nm и ниже", совместимость с другими платформами (например, DS4000) невозможна без леталкинга поверхностей.

Вы же можете добавить информацию о модель установки (например, Tellus или Telworth Flexis VC Liner Service). Тогда я выдачу точную расшифровку и механические габариты (Г/D/Ш).

Если вы прислали просто «Арт.06», значит, нужно описать его поведение (парность, контакт на GPIO либо провода) -- после этого атрибутируется.

найди по фото в PE шаблоне. Некоторые иголки швейных машин имеют фирмы изготовления АБ или ТУ, но дуткмком же выше является таким, какую Вы с уточнением PHB002550K... Я жду развития:)

Совместимые модели для Tokyo Electron DS2180-020625-11

Tokyo Electron DS2180-020625-11