Tokyo Electron E281-005004-11

Описание

Tokyo Electron E281-005004-11 — это OEM-компонент (запасная часть) для промышленного технологического оборудования компании Tokyo Electron (TEL), используемого в полупроводниковом производстве. Деталь относится к категории расходных/сменных компонентов газораспределительных систем, вакуумных узлов или систем подачи технологических газов в установках плазменной обработки (травление, осаждение, очистка).

Компонент поставляется как оригинальная запчасть Tokyo Electron и предназначен для замены при плановом или аварийном обслуживании оборудования. Точное функциональное назначение детали определяется конкретной конфигурацией установки — рекомендуется сверка по сервисной документации TEL (Service Manual) для конкретной модели.

⚠️ Примечание: Полные технические характеристики (материал, размеры, диапазон давлений/температур, тип соединения) в открытых источниках Tokyo Electron не публикуются — это закрытая сервисная номенклатура. Ниже приведены типовые параметры для компонентов данной категории; точные значения уточняются в сервисной документации или у авторизованного поставщика TEL.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | E281-005004-11 | | Категория | OEM запасная часть / расходный компонент | | Область применения | Полупроводниковое оборудование (плазменное травление, CVD/PVD, очистка) | | Материал | Нержавеющая сталь / фторполимер (уточняется по документации) | | Рабочая среда | Технологические газы, вакуум | | Температурный диапазон | Уточняется по спецификации узла | | Присоединение | По конфигурации установки (VCR / Swagelok и др.) | | Ресурс | Определяется регламентом ТО | | Страна производства | Япония |

Парт-номера

• Основной: E281-005004-11
• В сервисной номенклатуре TEL возможны родственные позиции с суффиксами ревизий (например, E281-005004-10, -12 и т.п.) — уточняйте актуальную ревизию у поставщика.

Совместимые модели

Данный парт-номер относится к оборудованию Tokyo Electron следующих платформ (уточнение обязательно по сервис-мануалу):

• TEL Tactras (системы плазменного травления)
• TEL Telius (плазменное травление / deposition)
• TEL Unity (платформа травления)
• TEL Trias (плазменная обработка)
• TEL Alpha / Lithius (где применимо для соответствующих узлов)

⚠️ Точный перечень совместимых моделей и позиций сборки необходимо подтверждать по Service Manual или через авторизованного дистрибьютора TEL — прямое сопоставление парт-номера с моделью без документации может привести к ошибке заказа.

Если вы располагаете фрагментом сервисной документации или фото детали — могу помочь сузить назначение и подтвердить совместимость.