Tokyo Electron ES019-000190-1

Описание

ES019-000190-1 — это оригинальный сервисный компонент (запасная часть) производства Tokyo Electron (TEL) — одного из ведущих мировых производителей оборудования для полупроводниковой промышленности. Деталь применяется в системах управления газовыми потоками (gas delivery system) технологического оборудования TEL и относится к категории расходных/изнашиваемых компонентов, подлежащих периодической замене при плановом обслуживании.

Как правило, компоненты с подобными парт-номерами в номенклатуре TEL представляют собой элементы газораспределительной арматуры (клапаны, фитинги, пневматические/электронные компоненты, датчики давления/потока) либо составные части узлов CVD/ALD/плазменных модулей. Точная функция определяется конкретной конфигурацией установки — рекомендуется сверка по сервисной документации TEL (Service Manual) для конкретной платформы.

Важно: TEL не публикует полные спецификации сервисных парт-номеров в открытом доступе — данные предоставляются авторизованным сервисным партнёрам и через закрытые каталоги запчастей.

Технические характеристики (типовые/ориентировочные)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | ES019-000190-1 | | Категория | Сервисный компонент / запасная часть | | Область применения | Газораспределительная система / вакуумно-плазменные модули | | Совместимость с средами | Коррозионностойкое исполнение (как правило, нерж. сталь / спец. сплавы) | | Установка | OEM-замена, requires qualified service engineer | | Страна происхождения | Япония |

⚠️ Точные электрические/пневматические параметры (давление, расход, напряжения, материалы уплотнений) определяются по актуальному Service Manual и недоступны в открытых источниках.

Парт-номера (варианты обозначений)

• ES019-000190-1 — основной номер
• Возможные варианты написания в каталогах: ES019-000190, ES0190001901, ES019 000190 1
• Аналоги и альтернативные ревизии уточняются у представителя TEL (возможны суффиксы -2, -A и т.п. для новых ревизий)

Совместимые модели оборудования

Прямая привязка парт-номера к конкретным платформам в открытых источниках не раскрывается. Как правило, компоненты серии ES019-... применяются в установках TEL следующих семейств (требуется подтверждение по сервисной документации):

• TEL Unity / Unity II / Unity IIe (плазменные CVD/etch модули)
• TEL Telius / Tactras (платформы etch/deposition)
• TEL INDY / INDY Plus (CVD)
• TEL Alpha / Mark 系列 (в зависимости от конфигурации)
• Газовые модули (GDM) и шкафы газораспределения указанных платформ

✅ Для гарантированного подтверждения совместимости обратитесь в Tokyo Electron Service или авторизованного дистрибьютора запчастей с указанием серийного номера вашей установки.

Рекомендации

1. Заказывайте деталь только через официальные каналы TEL — на вторичном рынке возможны несовместимые ревизии.
2. Перед заменой сверьтесь с Preventive Maintenance (PM) планом вашей установки.
3. Уточните у поставщика дату производства и ревизию (важно для уплотнений и калибровки).

Если у вас есть доступ к Service Manual конкретной платформы — пришлите название установки, и я помогу уточнить назначение узла.