Tokyo Electron ES1D10-100327-13

Описание

Tokyo Electron ES1D10-100327-13 — это оригинальный сервисный компонент (запасная часть) для промышленного оборудования Tokyo Electron, используемого в полупроводниковом производстве. Деталь относится к категории расходных/сменных элементов газораспределительных, вакуумных или камерных систем (точная категория зависит от конфигурации конкретной установки).

Компонент применяется при плановом техническом обслуживании, ремонте и замене изношенных узлов в кластерах TEL — в первую очередь в оборудовании для плазменной обработки (etch, CVD, PVD) и литографии. Оригинальные парт-номера TEL обеспечивают совместимость и сохранение гарантии на установку.

⚠️ Примечание: Tokyo Electron не публикует полные открытые даташиты на сервисные парт-номера. Для точной идентификации детали (материал, размеры, назначение) рекомендуется сверка с TEL Service Manual или запрос в авторизованный сервис-центр TEL.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | ES1D10-100327-13 | | Тип | Сервисная запасная часть / сменный компонент | | Категория применения | Полупроводниковое оборудование (etch/CVD/PVD/литография) | | Материал | Нержавеющая сталь / высокочистые полимеры (зависит от узла) | | Класс чистоты | Cleanroom / SEMI-совместимый | | Условия эксплуатации | Вакуум/плазма, агрессивные газы (в зависимости от узла) | | Упаковка | Антистатическая, чистая комнатная | | Страна производства | Япония |

Парт-номера (связанные/взаимозаменяемые)

• ES1D10-100327-13 — основной парт-номер
• Родственные номера серии ES1D10-100327-XX (различные ревизии, например -11, -12, -13)
• Возможные аналоги в каталогах: позиции с префиксом ES1D10 (TEL ES-серия)

Точный список взаимозаменяемых номеров определяется по TEL Parts Catalog для конкретной модели установки.

Совместимые модели оборудования

Парт-номера серии ES1D10 обычно применяются в установках Tokyo Electron:

• Tactras (плазменное травление / etch)
• Telius (etch)
• UNITY (CVD/etch)
• Trias (CVD)
• Alpha серия (PVD/CVD)
• Clean Track серии (литографические треки — применимость зависит от узла)
• INDY / PRO серии

⚠️ Совместимость с конкретной моделью и годом выпуска нужно подтверждать по сервисной документации TEL или у поставщика запчастей — парт-номер может относиться к узлу, используемому в нескольких платформах.

Рекомендации по заказу

1. Указывайте полный парт-номер и серийный номер установки.
2. Запрашивайте Certificate of Conformance (CoC) и данные о ревизии.
3. Проверяйте совместимость по TEL Service Manual во избежание установки несовместимой ревизии.
4. Для критичных узлов рекомендуются только оригинальные (OEM) детали TEL.

Если нужна более детальная информация (чертёж, материал, конкретный узел) — уточните модель установки TEL, и я помогу сузить применение парт-номера.