Tokyo Electron ES3D10-100912-11

Описание

Tokyo Electron ES3D10-100912-11 — это оригинальный компонент (запасная часть) для промышленного технологического оборудования Tokyo Electron (TEL), используемого в полупроводниковом производстве. Деталь относится к категории прецизионных узлов газораспределительных/вакуумных систем и предназначена для обеспечения стабильной работы оборудования в процессах осаждения, травления и других операциях обработки пластин.

Компонент поставляется как OEM-запчасть и применяется при плановом и аварийном обслуживании установок TEL. Благодаря высоким требованиям к чистоте и точности изготовления, деталь критична для поддержания параметров технологического процесса и минимизации частиц (particle contamination).

⚠️ Примечание: точная функциональная принадлежность (клапан, фитинг, датчик, узел крепления и т.д.) зависит от конкретной конфигурации установки. Рекомендуется сверять по сервисной документации TEL и маркировке на изделии.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | ES3D10-100912-11 | | Категория | Запасная часть / компонент технологической установки | | Материал | Нержавеющая сталь / специальные сплавы (зависит от узла) | | Рабочая среда | Технологические газы, вакуум | | Температурный диапазон | Уточняется по спецификации узла | | Класс чистоты | Соответствует требованиям полупроводникового производства | | Страна производства | Япония | | Упаковка | Заводская (OEM), антистатическая |

Точные значения (давление, температура, расход, присоединительные размеры) необходимо уточнять по сервис-мануалу TEL для конкретной платформы.

Парт-номера (кросс-референс)

• ES3D10-100912-11 — основной (OEM) номер
• Возможные связанные/заменяемые номера указываются в сервисной документации TEL; прямой публичный кросс-лист отсутствует — уточняйте у авторизованного дистрибьютора TEL.

Совместимые модели

Компонент применяется в установках Tokyo Electron следующих платформ (типовые семейства):

• TEL CLEAN TRACK (серии ACT, LITHIUS, LITHIUS Pro)
• TEL Unity / Unity II (плазмы CVD/etch)
• TEL Trias / Telius (платформы травления)
• TEL Alpha / Oxy (установки окисления/диффузии)

⚠️ Конкретная совместимость зависит от модификации установки и ревизии узла. Перед заказом обязательно сверяйте парт-номер по Parts Catalog и сервисной документации TEL либо подтверждайте у официального поставщика.

Если нужно, могу оформить это как карточку товара для каталога/сайта (с УТП, SEO-описанием и таблицей характеристик) или подготовить шаблон запроса в TEL для подтверждения совместимости.