Tokyo Electron ES3D87-002338-14

Описание

Tokyo Electron ES3D87-002338-14 — это оригинальная запасная часть (компонент) для промышленного оборудования Tokyo Electron, используемого в полупроводниковом производстве. Деталь относится к категории прецизионных компонентов газораспределительной/вакуумной системы или узлов камеры обработки пластин (в зависимости от конкретной конфигурации оборудования).

Компонент изготовлен из материалов, устойчивых к агрессивным средам (плазма, химически активные газы), и предназначен для замены изношенных или вышедших из строя элементов в установках травления, осаждения или отжига Tokyo Electron.

⚠️ Примечание: точное функциональное назначение детали по данному номеру требует сверки с официальным каталогом запчастей TEL (Parts Catalog) или сервисной документацией, так как номенклатура TEL насчитывает десятки тысяч позиций с внутренней кодировкой.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Part Number | ES3D87-002338-14 | | Категория | Запасная часть / компонент камеры | | Материал | Нержавеющая сталь / керамика / фторполимер (уточняется по каталогу) | | Рабочая среда | Плазма, агрессивные газы, вакуум | | Диапазон температур | до ~200–300 °C (зависит от узла) | | Совместимость | Установки TEL серий UNITY, Tactras, Telius, Vision (требует проверки) | | Страна производства | Япония |

Парт-номера (кросс-референс)

По номеру ES3D87-002338-14 в открытых источниках кросс-референсы (аналоги/замены) не публикуются — это внутренний каталожный номер TEL. Возможные связанные позиции того же семейства:

• ES3D87-002338-XX (модификации по ревизии)
• Родственные узлы серии ES3D87-… (уточняются в Parts Catalog TEL)

Для получения официальных замен и суперсессий (supersession) рекомендуется запрос в авторизованный сервис TEL или использование TEL e-Parts / доступ через дистрибьютора.

Совместимые модели

Прямая привязка к конкретным моделям по номеру ES3D87-002338-14 в открытых источниках отсутствует. Потенциально компонент применяется в установках Tokyo Electron:

• UNITY (плазменное травление / CVD)
• Tactras (системы травления)
• Telius (плазменное травление)
• Vision / Triase (по конфигурации)

⚠️ Совместимость необходимо подтвердить по сервисному мануалу конкретной установки (номер модели + серийный номер) — без этого гарантировать применение нельзя.

Рекомендация: для точной идентификации (назначение, материал, совместимые модели и официальные замены) обратитесь в сервисную службу Tokyo Electron или к авторизованному дистрибьютору запчастей с указанием полного номера ES3D87-002338-14 и модели/серийного номера вашей установки.