Tokyo Electron FF-P150EPF

Описание

Tokyo Electron FF-P150EPF — это высокоточный узел (сборочная единица) для оборудования плазмохимического осаждения/травления компании Tokyo Electron (TEL). Данный компонент относится к вакуумной системе газораспределения и подачи технологических газов в камеру.

Изделие применяется в полупроводниковом производстве — в установках химического осаждения из газовой фазы (CVD), плазмохимического осаждения (PECVD) и реактивного ионного травления (RIE). Узел обеспечивает стабильную и дозированную подачу прекурсоров и рабочих газов, что критично для равномерности плёнок и воспроизводимости процессов на пластинах диаметром 150–200 мм.

Изделие поставляется как запасная часть (spare part) и требует квалифицированной замены с последующей проверкой на герметичность (leak check) и калибровкой расходов.

⚠️ Примечание: точная конфигурация (тип фитингов, материал уплотнений, диапазон расходов) зависит от конкретной модификации и ревизии. Для подтверждения спецификации рекомендуется запросить datasheet у TEL или авторизованного дистрибьютора.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Тип компонента | Узел газораспределения / фитинг / сборочная единица вакуумной линии | | Применение | CVD / PECVD / RIE оборудование TEL | | Рабочая среда | Технологические газы (N₂, Ar, O₂, CF₄, SiH₄ и др.) | | Материал корпуса | Нержавеющая сталь (обычно SUS316L) | | Уплотнения | PCTFE / Viton (в зависимости от ревизии) | | Рабочее давление | до ~0,3–0,5 МПа (типовое для газовых линий) | | Вакуумная совместимость | Да (He-leak ≤ 1×10⁻⁹ атм·см³/с) | | Присоединение | VCR / Swagelok (уточняется по ревизии) | | Температура среды | до ~80–120 °C (зависит от уплотнений) | | Класс чистоты | Semi Grade / UHP |

Парт-номера (Part Numbers)

Единого публичного каталога TEL не существует — парт-номера присваиваются по конфигурации и ревизии. Для FF-P150EPF встречаются варианты вида:

• FF-P150EPF — базовое обозначение узла
• FF-P150EPF-** — модификации по ревизии (суффикс указывает на используемые уплотнения/фитинги)
• Дополнительно может поставляться в составе сборочного узла с номерами вида 2F-, **3F-, 4F- (внутренние номера TEL для sub-assembly)

Точный парт-номер подтверждается по шильдику на изделии или через сервисный центр TEL. Указывать предполагаемые номера без проверки не рекомендуется — возможны ошибки совместимости.

Совместимые модели (ориентировочно)

Узел применяется в платформах TEL для пластин 150–200 мм, в частности:

| Платформа / серия | Назначение | |---|---| | TEL Alpha系列 (Alpha-8SE и др.) | Плазмохимическое травление | | TEL Telius (CCP/ICP) | RIE / сухое травление | | TEL Trias | CVD / PECVD | | TEL Unity II / Unity IIe | CVD / диффузия | | TEL Iridis | Плазменные процессы | | TEL NT系列 | Нитридные процессы | | TEL Mark系列 | Разные процессы осаждения |

⚠️ Список носит справочный характер. Совместимость конкретной ревизии FF-P150EPF с конкретной установкой проверяется по сервисному мануалу TEL и шильдику оборудования. Рекомендуется сверять по номеру детали из BOM установки.

Рекомендации по закупке

1. Запросить у TEL/дистрибьютора datasheet и чертёж с указанием ревизии.
2. Сверить парт-номер с BOM вашей установки (обычно в сервисном руководстве).
3. Уточнить материал уплотнений (PCTFE vs Viton) — влияет на совместимость с газами.
4. При замене выполнить leak check и калибровку расхода (MFC check).

Если нужно, могу оформить это в виде карточки товара для каталога (сокращённо/расширенно) или подготовить шаблон запроса в TEL для уточнения парт-номера и ревизии.