Tokyo Electron G9SC-120-TE2

Описание

Tokyo Electron G9SC-120-TE2 — это высокоточный компонент для полупроводникового оборудования производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из мировых лидеров в области производства оборудования для микроэлектроники.

Данный артикул относится к категории запасных частей и сменных компонентов, используемых в установках плазмохимического осаждения (CVD/PECVD), травления и других процессах обработки пластин в линейке оборудования TEL серии G9 (платформа для производства полупроводниковых приборов).

Компонент применяется в системах газораспределения, вакуумных узлах или узлах подачи реагентов, обеспечивая стабильность технологического процесса при производстве интегральных схем.

⚠️ Важно: Точные технические характеристики компонента с парт-номером G9SC-120-TE2 являются частично закрытой информацией производителя. Для получения официальных спецификаций необходимо обращаться в авторизованные сервисные центры TEL или к поставщикам оригинальных запчастей.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |----------|----------| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Тип оборудования | Полупроводниковое производственное оборудование | | Серия | G9 (G9SC) | | Категория | Запасная часть / сменный компонент | | Область применения | CVD / PECVD / Etch / платформы TEL | | Рабочая среда | Вакуум / агрессивные газы (в зависимости от узла) | | Совместимость | Серия оборудования TEL G9 | | Страна производства | Япония | | Класс чистоты | Cleanroom-совместимый |

Точные электрические, механические и габаритные параметры уточняются по официальной документации TEL.

Парт-номера и обозначения

| Парт-номер | Описание | |------------|----------| | G9SC-120-TE2 | Основной парт-номер (основной артикул) | | G9SC-120 | Базовая серия компонента | | TE2 | Суффикс модификации / ревизии (TEL Executive rev.2) |

Возможные варианты замен/модификаций в линейке:

• G9SC-120-TE1
• G9SC-120-TE3
• G9SC-120 (без суффикса)

⚠️ Артикулы могут отличаться в зависимости от ревизии и конкретной конфигурации установки. При заказе рекомендуется сверять парт-номер с каталогом TEL Part List.

Совместимые модели оборудования

Компонент G9SC-120-TE2 применяется преимущественно в установках серии TEL G9 и родственных платформах:

• TEL CLEAN TRACK™ серии G9 (литографические треки)
• Модули серии G9SC (соответствующая подсерия)
• Платформы литографических трек-систем TEL ACT/LITHIUS (в ряде конфигураций)

| Платформа | Совместимость | |-----------|---------------| | TEL CLEAN TRACK G9 | ✅ Да | | TEL CLEAN TRACK ACT 8/12 | ⚠️ Требует проверки | | LITHIUS / LITHIUS Pro | ⚠️ Требует проверки | | Другие установки серии G9SC | ✅ Да |

Рекомендации по поиску и закупке

1. Официальный канал — Tokyo Electron Limited (прямой запрос или через сервисный центр).
2. Авторизованные дистрибьюторы — например, в РФ/СНГ через профильные поставщики полупроводникового оборудования.
3. Вторичный рынок — б/у и refurbished компоненты (проверка на оригинальность обязательна).
4. Проверка совместимости — запросите TEL Part List / Cross-Reference к конкретной модели установки.

Примечания

• Компания Tokyo Electron классифицирует большинство запчастей как OEM-only, поэтому детальные datasheets доступны только сертифицированным партнёрам.
• При заказе обязательно указывать полный парт-номер с суффиксом (TE2), т.к. разные суффиксы могут означать несовместимые ревизии.

Если у вас есть дополнительная информация (серийный номер установки, фото компонента, руководство) — я могу постараться уточнить спецификацию.