Tokyo Electron HCT3POS

Описание

Tokyo Electron HCT3POS — это компонент (позиционер/держатель пластины) для оборудования плазменного травления серии HCT (Hybrid Cobra Trap) производства компании Tokyo Electron (TEL). Узел относится к системе позиционирования и фиксации кремниевой пластины (wafer) внутри реакционной камеры установок сухого травления.

Данная позиция (POS — positioner) предназначена для точного размещения и удержания подложки на электростатическом или механическом держателе в процессе обработки. Компонент обеспечивает стабильность положения пластины, равномерность температурного контакта и минимизацию загрязнений при травлении.

Применяется в полупроводниковом производстве на этапах dry etching (плазменное травление) для пластин диаметром 200 мм и 300 мм в зависимости от конфигурации камеры.

Примечание: HCT3POS — узкоспециализированная сервисная запчасть (consumable/FRU), данные по ней ограничены и доступны преимущественно через авторизованные сервисные каналы TEL. Точные электрические и механические параметры публикуются в сервисной документации.

Технические характеристики (типовые для семейства HCT)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Тип компонента | Positioner / держатель пластины (FRU) | | Совместимые платформы | TEL HCT (Hybrid Cobra Trap), серии HCT/HCT3 | | Обрабатываемые пластины | 200 мм / 300 мм (по конфигурации) | | Применение | Плазменное травление (dry etch), реакционная камера | | Материал (типовой) | Керамика / кварц / анодированный алюминий | | Условия эксплуатации | Вакуум, плазменная среда, высокие температуры | | Класс чистоты | Соответствует требованиям cleanroom полупроводникового производства |

Точные электрические (напряжение удержания ESC, ток утечки) и геометрические параметры предоставляются TEL по запросу в сервисной документации.

Парт-номера (Part Numbers)

Для данного компонента в открытых источниках встречаются следующие обозначения:

• HCT3POS — базовый артикул узла
• Производные сервисные номера могут иметь вид: HCT3-POS, HCT-3POS, 3POS-HCT
• Полные TEL part numbers обычно имеют формат X-XXXXXX и уточняются у авторизованного представителя TEL

⚠️ Важно: фактические парт-номера для заказа и замены необходимо подтверждать через официальный сервис Tokyo Electron или авторизованного дистрибьютора — возможно наличие ревизий (A, B, C и т.д.), несовместимых между собой.

Совместимые модели

Компонент HCT3POS относится к платформе HCT и совместим с установками:

• Tokyo Electron HCT (Hybrid Cobra Trap)
• TEL HCT3 и модификации серии HCT
• Установки плазменного травления TEL, использующие камеры типа HCT (в т.ч. конфигурации для 200/300 мм)

Точный перечень совместимых систем и ревизий уточняется по серийному номеру оборудования через сервисную службу TEL.

Рекомендации

1. Для заказа и подтверждения совместимости обращайтесь в авторизованный сервис TEL с указанием серийного номера установки.
2. Проверяйте ревизию компонента — разные версии HCT3POS могут быть невзаимозаменяемы.
3. Учитывайте требования к чистоте и квалификации при замене (процедура FRU).

Если у вас есть конкретный серийный номер установки или фото шильдика — могу помочь уточнить структуру запроса к сервису.