Tokyo Electron HTE-0C3-C-13

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для Tokyo Electron HTE-0C3-C-13.

Общее описание

Tokyo Electron HTE-0C3-C-13 — это кассета (лодочка) для переноса и обработки кремниевых пластин, предназначенная для использования в высокотемпературных печах диффузии и окисления. Это ключевой расходный компонент (consumable) в полупроводниковом производстве.

• Назначение: Используется для безопасной загрузки, переноса и высокотемпературной обработки кремниевых пластин диаметром 300 мм (12 дюймов) в вертикальных печах типа "лодочка" (boat furnace), производимых компанией Tokyo Electron (TEL) и другими.
• Конструкция: Изготавливается из высокочистого, термостойкого материала, способного выдерживать экстремальные температуры (до 1200°C и выше) в агрессивных средах (кислород, хлорсодержащие газы и т.д.). Имеет прорези для фиксации пластин на заданном расстоянии друг от друга.
• Ключевая особенность (маркировка "C"): Буква "C" в номере модели (HTE-C3-C-13) обычно указывает на углеродное армирование (Carbon reinforced) или карбидкремниевое (SiC) покрытие/пропитку базового материала (чаще всего кварца). Это значительно увеличивает срок службы кассеты, предотвращая деформацию (прогиб) под собственным весом и весом пластин при высоких температурах, а также снижает загрязнение (outgassing).

Технические характеристики (ТТХ)

| Параметр | Характеристика | | :--- | :--- | | Наименование модели | HTE-0C3-C-13 | | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Тип изделия | Кассета (лодочка) для обработки пластин | | Диаметр пластин | 300 мм (12 дюймов) | | Количество слотов | 13 слотов (для 13 пластин) | | Материал | Высокочистый кварц с углеродным армированием / SiC-покрытием (обозначение "C") | | Макс. рабочая температура | ~1200°C - 1300°C (в зависимости от конкретного технологического процесса) | | Совместимые процессы | Диффузия, окисление, отжиг, CVD-низкого давления (LPCVD) | | Совместимое оборудование | Вертикальные диффузионные/термические печи Tokyo Electron (серии Horizon и др.) и их аналоги |

Парт-номера (Part Numbers) и аналоги

Номер HTE-0C3-C-13 является базовым каталожным номером TEL. В зависимости от региона поставки, конкретного завода-изготовителя или вторичного рынка запчастей (aftermarket) могут встречаться его вариации или прямые аналоги. Часто номер наносится лазерной маркировкой на корпус кассеты.

Важные примечания:

1. "HTE" — вероятно, обозначение серии или типа кассеты.
2. "0C3" — код, указывающий на геометрию, размер и конструктивные особенности для 300 мм пластин.
3. "C-13" — буква "C" (армирование), цифра "13" (количество слотов).

Совместимые / аналогичные модели (важно проверять перед заказом!):

• Прямые аналоги от TEL: Могут существовать номера с суффиксами, обозначающими версию или поставщика сырья (например, HTE-0C3-C-13**-A**, HTE-0C3-C-13**-SP** и т.д.).
• Аналоги от других производителей: Многие компании производят совместимые кассеты. Их номера будут другими, но спецификация — аналогичной. Например:
  • Mega Electronics (Корея): ME-3xxx серии для 300mm.
  • Covalent Materials (ранее Tosoh Quartz): Схожие изделия под своей системой нумерации.
  • Ferrotec, Shin-Etsu Quartz: Производители высококачественных кварцевых компонентов.
  • Многочисленные китайские и тайваньские производители: Создают совместимые кассеты, часто с маркировкой, указывающей на совместимость с TEL HTE-0C3-C-13.

Совместимое оборудование (модели печей)

Кассета HTE-0C3-C-13 предназначена для вертикальных диффузионных печей с загрузкой "лодочкой". Она совместима со следующими сериями и моделями Tokyo Electron (TEL) и их клонами/аналогами:

• TEL Horizon Series — основная современная серия вертикальных печей.
  • Модели для 300 мм: H-xxx, например, печи для окисления/диффузии/отжига.
• Предыдущие серии TEL: Печи серий Alpha, Beta, Sigma (для 300 мм платформ).
• Аналогичное оборудование других брендов:
  • Hitachi Kokusai Electric (ныне часть Kokusai Electric) — серии AP, AD, AS.
  • KLA (бывшая Therma-Wave, бывшая Koyo Thermo Systems).
  • Станки китайского производства (например, NAURA, Kingsemi, Piotech), которые часто копируют конструкцию TEL.

Критически важно: Перед заменой кассеты необходимо свериться с руководством по эксплуатации (User Manual) или списком запчастей (Parts List) конкретной модели печи, установленной на производстве. Совместимость определяется не только диаметром, но и точными геометрическими размерами (высота, угол конуса, расстояние между стойками), которые должны соответствовать механизму загрузчика печи.