Tokyo Electron HWT-20120207

Описание

Tokyo Electron HWT-20120207 — это OEM-компонент (запасная часть) для оборудования Tokyo Electron (TEL), используемый в установках плазмохимической обработки (плазменные травители, CVD/PVD-системы, системы очистки пластин). Данный артикул относится к категории расходных/быстроизнашиваемых деталей камеры — чаще всего к элементам газораспределения, крепежа, уплотнений или внутренней оснастки реактора.

Компоненты с маркировкой HWT обычно поставляются как часть ремонтных комплектов (PM kits) и обеспечивают герметичность, равномерность подачи газа и стабильность плазменных процессов. Деталь применяется при плановом техническом обслуживании (Preventive Maintenance) для восстановления параметров камеры после выработки ресурса.

⚠️ Важно: точная функциональность артикула HWT-20120207 в открытых каталогах TEL не публикуется — TEL не раскрывает спецификации OEM-запчастей в свободном доступе. Для подтверждения назначения детали рекомендуется сверка с официальным Parts Catalog / BOM конкретной установки через сервисное подразделение TEL или авторизованного дистрибьютора.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Артикул (Part Number) | HWT-20120207 | | Категория | OEM spare part / расходный компонент | | Совместимые типы оборудования | Плазменные травители, CVD/PVD, системы очистки (серии TEL) | | Материал | Как правило — алюминий с покрытием, керамика (Al₂O₃, Y₂O₃), фторполимер (PTFE), нерж. сталь — зависит от узла | | Рабочая среда | Плазма (CF₄, CHF₃, Cl₂, BCl₃, O₂, Ar и др.) | | Диапазон температур | Типовой: до 200–300 °C (для внутренних компонентов камеры) | | Условия поставки | Индивидуальная упаковка, cleanroom-совместимая | | Ресурс | Определяется регламентом PM конкретной установки |

(Конкретные значенияmaterial/размеров уточняются по чертежу детали — в открытых источниках не публикуются.)

Парт-номера (Part Numbers)

• HWT-20120207 — основной артикул TEL.
• Как правило, имеет связанные номера комплектов PM (PM Kit), в которые входит данная позиция — уточняются по BOM установки.
• Аналоги и заменители сторонних производителей (non-OEM) маркируются собственными P/N и не являются оригинальными деталями TEL.

Совместимые модели

Точный перечень совместимых установок определяется по сервисной документации TEL. В общем случае компоненты серии HWT применяются в оборудовании TEL для полупроводникового производства, включая семейства:

• Плазменные травители (серии Telius, Tactras, Vigus и родственные платформы)
• Системы CVD/PVD соответствующих поколений
• Системы очистки/стрипперы (например, серии с плазменной обработкой)

⚠️ Примечание: составление точного списка моделей по одному артикулу без доступа к официальному кросс-каталогу TEL невозможно — советуем обратиться в TEL Service или к авторизованному партнёру с указанием серийного номера вашей установки.

Хотите, чтобы я помог оформить запрос в TEL/дистрибьютору для точной идентификации детали? Могу составить шаблон письма.xing