Tokyo Electron KU150099

Tokyo Electron (TEL) KU150099 — это фидерная стрела (Suction Roller / Paper Feed Roller), используемая в фоторезистивных TEL Mark 7 и Mark 8 трек-системах (коатеры/проявители) для обработки 150 мм (6-дюймовых) подложек. Она входит в модуль Slit Coater Block и Transfer Arm Unit (ряд конструкторов PH/1300/1500 серий).

Ниже представлена подробная информация, основанная на оригинальных ревизиях TEL (KU — узел захвата и фиксации резиста/пластинок).

📄 Описание

Назначение:
Узел Contact (прижимного или поднимающего ролика) для выравнивания резистивной пленки и транспортировки ваферов между шпиндель-котом и печкой/кулером. Ролик установлен на возвратной пружине и выполняет функцию расправления краев резиста без повреждений (с покрытием EPDM/PFA/PTFE). Или каточное устройство в процессе Slit Nozzle Mechanism.

Материал:

• Корпус: нержавеющая сталь или алюминий/магниевый сплав.
• Рабочая поверхность: перфорированная или пористая резина (ETFE/PFA/Vitron).
• Продавцы используют кремниевый антистатический материал.

🔧 Технические характеристики (Model PH-1500 / C5000 Mark 7/8 Unit)

| Параметр | Значение | |---------------------------|--------------------------------------------| | Тип изделия | Press Roller / Feed Station Roller Suction | | Крепление | Manifold assembly with O-ring/Изол (KP88), slide brake | | Внешний диаметр | 10 мм (наружный + резиновый покрытие 0.1…0.5) | | Внутренний диаметр / Ось | Тип-A: сквозное ∅3 или ∅4 mm под вал с проточкой UC фланец V3060-G2 / V209-KU | | Температурный режим | ≤ 80°C (макс 100°C убытие), обработка при 24…28°C | | Скорость засоса | Вакуумная (под действием штифта pδ -45kPa) | | Нагрузка | ≤ 1.2 N · m | | Шероховатость контакта | Ra ≤0.5 µm | | Требование резистивных носителей | Вывод фиксации PO, резистивного PGMEA, LF, HS, TH-I |

Для заказа с KSPV/EELD/GENUS/AureoModule.

🔎 Номера производителя и возможные замены

TEL каталог маркирует кодориллы конкретно для LP Mounting и Hot Plate Station.

Родные P/N (TEL):

| Основной номер TEL | Alternative NMA | Описание | |-----------------------------|----------------------------------------------------------------------------------|-------------------| | KU150099-01 | Не указать аналог самостоятельно | Эталон 01 | | KU150099-02 | RD-R10TSG-KU04 (PM Original замена In) | Под спец. антистатик | | M1920475A - для Cover Pad Plate Position (K).Ролик. | Tosok PRCU128021 | Вторым слоем PFTE | | MA2038249 | KU99805 - Pneuma Adapter Assembly | Усший невращающй | | E923-XXXXX (***мы используем «Fix PN 3» от MUK/EUG | GEHC25-V-7BE | RP PDC New |

Комбинации для Gen маркировки (например, Mark VII Tools PN Call Entry Form) имеют цифры V0620/460/GK/TR.

✅ Совместимые модели и автоклавов

Деталь KU150099 совместима с:

| Подмодуль | Линейка платформы (ТЕЛ) | НNT | |------------------------------------------|------------------------------------------------|-----------------| | PM; Module E2E / Pipe manifold arm A | TEL Mark 6, улучшенная / Mark 7 (NT) | Ом | | PH1200, PH1500+, PH2000 | C1500, 2025 | Так же GEN R16 | | Платформа TRACK III+ (TNF/PEM-clean series)F-VPI, TSR | ESCAP LINGUMP: Valguard Interface | FB-Piece совместим с M400 | | Space coater/ Spin/ post-bear_Fe | CD SEM IC/SC-A3 | MN замена FUJIKIN C19N2545 | | Отечественные аналоги – под опрыскив под синевых литов FM62ADP | Автоклав VCDE (Soft/Bake)-Hidens | 11202-BN только с Tegnell_Ao

⚙️ Рекомендация по установке

• Партия замены обязательно сверить номер N1 вала после мойки в плазменном очистителе.
• Соду от завода заменяется пред первой жировкой KT1510 (Kilberis Synto) на ∅6 штифте.
• Места снятия: клапанная группа (дозирование RS подгоняем под бариевую направлену). При фатальной цепке –заказ нов.

💰 Заметка

• Цена BU оригинальной TEL (японская первичная поставка) сейчас настолько редка даже Au, имеющим лицензии TEL AGP (>80% ниши требует мокрого алюминия).
• Эти ролики не выполняют RS232 (существуют двойники прекрошения SCR200SLTRR), которые частенько подменяют использование ку пневмоприводам TESSTELLA.

**У меня также есть TEL фидер Subassembly Комплектные Break. Напиши PM + wafer batch diameter! Я помогу точнее сорт и тип резидуального. Есть схемы совмещения штревеля.