Tokyo Electron KU15495-1

Описание

Tokyo Electron KU15495-1 — это сервисный/сменный компонент (парт-номер) для промышленного оборудования Tokyo Electron, используемого в полупроводниковом производстве. Как правило, детали с подобными каталожными номерами относятся к расходным материалам или сменным узлам камеры обработки (например, компоненты газораспределения, крепёж, уплотнения, элементы подложкодержателя или детали передающего модуля) для установок травления, осаждения или отжига.

Важное примечание: Tokyo Electron не публикует открытые даташиты на сервисные парт-номера. Приведённая ниже информация является типовой для данной категории запчастей TEL; точные параметры (материал, размеры, совместимость) следует уточнять в официальном каталоге запчастей TEL или у авторизованного поставщика.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Тип детали | Сменный компонент/расходный материал камеры | | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Каталожный номер | KU15495-1 | | Область применения | Полупроводниковое оборудование (etch/deposition/RTP) | | Материал | Зависит от узла (нерж. сталь, керамика, эластомер, алюминий с покрытием) | | Рабочая среда | Вакуум, агрессивные газы (Cl₂, BCl₃, CF₄ и др.) в зависимости от процесса | | Температурный режим | Определяется узлом-носителем | | Класс чистоты | Cleanroom-compatible |

Точные геометрические размеры, материал и допустимые допуски указаны в сервисной документации TEL к конкретной платформе.

Парт-номера (связанные/семейство)

• KU15495-1 — основной номер
• Родственные номера семейства KU154xx (модификации -2, -3 и т.п.) — варианты исполнения; точный перечень приведён в каталоге TEL
• Часто поставляется в комплекте с сопутствующими парт-номерами узла (уплотнения, крепёж) — уточняется по BOM установки

Совместимые модели

Парт-номера серии KU обычно относятся к платформам Tokyo Electron:

• Tactras (системы травления)
• Telius (системы травления)
• Indy (платформы обработки)
• Trias (системы осаждения/травления)
• Alpha серия (в зависимости от конфигурации)

Внимание: конкретная совместимость KU15495-1 с той или иной моделью/камерой должна подтверждаться по сервисному мануалу TEL и BOM вашей установки. Не используйте номер для заказа без сверки с официальным каталогом — возможны ревизии.

Рекомендации по заказу

1. Сверьте номер с шильдиком и BOM вашей установки TEL.
2. Уточните ревизию (Rev) детали у поставщика.
3. Заказывайте через авторизованного дистрибьютора TEL или сервисную службу.

Если у вас есть фото детали или страница из сервисного мануала — могу помочь уточнить назначение и совместимость.