Tokyo Electron MB458037

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для Tokyo Electron MB458037.

Описание

Tokyo Electron MB458037 — это сопло (форсунка, распылитель) для системы очистки (например, мокрого станка Wet Bench или модуля Single Wafer Clean), используемой в производстве полупроводниковых пластин.

Его основное назначение — подача и равномерное распределение химических реагентов (таких как SC1, SC2, HF, DIW — деионизированная вода) или растворов для сушки (например, IPA — изопропиловый спирт) на поверхность кремниевой пластины. Оно предназначено для таких технологических этапов, как:

• Химическая очистка (удаление частиц, органических и металлических загрязнений).
• Травление.
• Промывка.
• Сушка.

Сопло спроектировано для работы в высокоагрессивных химических средах, что подразумевает изготовление из химически стойких материалов (обычно PTFE/PFA — тефлон). Конструкция обеспечивает формирование правильной, равномерной струи или "завесы" жидкости для достижения однородности обработки по всей поверхности пластины.

Технические характеристики (типичные)

Поскольку официальный даташит может быть недоступен публично, характеристики основаны на типичных параметрах таких компонентов:

1. Тип компонента: Сопло / Форсунка для подачи химии.
2. Основной материал: PTFE (Политетрафторэтилен) или PFA (Перфторалкокси). Оба обладают исключительной химической стойкостью.
3. Присоединительная резьба / размер: Стандартный размер для интеграции в манифольды или блоки подачи химии TEL. Часто это 1/4" NPT (наружная резьба) или аналогичная метрическая резьба. Точный размер необходимо уточнять по спецификации машины.
4. Тип струи: Формирует широкую, веерную ("занавес") или конусную струю для покрытия всей пластины.
5. Расход жидкости: Оптимизирован для работы с типичными скоростями потока систем очистки TEL (например, в диапазоне 0.5 - 2.0 л/мин на сопло, в зависимости от процесса).
6. Рабочее давление: Рассчитано на типичное давление в системе подачи химии, обычно 1 - 5 бар.
7. Рабочая температура: До ~100°C (для процессов с подогревом химии).
8. Чистота: Изготовлено из высокочистых материалов для предотвращения загрязнения пластин.
9. Цвет: Обычно белый (натуральный цвет PTFE/PFA) или полупрозрачный.

Парт-номера и возможные альтернативные обозначения

У компонентов TEL часто есть несколько связанных номеров:

• MB458037 — Основной номер детали (Part Number).
• G458037 — Может быть номером группы или альтернативным кодом.
• 458037 — Базовый номер без префикса.
• У производителя сопел (например, BETE, Spraying Systems Co.) может быть свой собственный номер, по которому TEL заказывает эту специфическую модель. Для точного определения нужен кросс-референс.

Важно: При заказе всегда используйте полный номер MB458037.

Совместимые модели оборудования (Ориентировочный список)

Это сопло используется в различных платформах для очистки компании Tokyo Electron (TEL). Наиболее вероятно его применение в следующих сериях:

• Мокрые станции (Wet Benches):

  • LT Series (например, LT-210, LT-240)
  • SCS Series
  • Станки для очистки пластин после химико-механической полировки (Post-CMP Clean)

• Однопластинные модули очистки (Single Wafer Clean):

  • CELLESTA серии (например, SCP/M, SCP/AP)
  • SU-3000 серии
  • Prakira серии
  • Модули очистки в кластерах Trias™ или Unity™

Конкретная модель оборудования зависит от конфигурации манифольда подачи химии. Один и тот же тип сопла может использоваться на разных инструментах для аналогичных операций.

Критически важные рекомендации

1. Подтверждение по спецификации машины: Самый надежный способ — проверить Parts List (перечень запчастей) или руководство по обслуживанию (Service Manual) для конкретной модели оборудования TEL, на котором вы работаете. Там будет указан точный номер детали.
2. Визуальная сверка: При замене обязательно сравните новое сопло со старым по форме, размеру резьбы и маркировке.
3. Поставщики: Приобретать такие запчасти следует у официальных дистрибьюторов TEL, у проверенных поставщиков полупроводниковых запчастей или напрямую у производителя оригинальных сопел. Это гарантирует материал, чистоту и геометрию.
4. Химическая совместимость: Хотя материал инертен, стоит убедиться, что данное конкретное сопло предназначено для той химии, которую вы планируете через него подавать (особенно для горячих растворов).

Для получения 100% точной информации обратитесь к документации на ваше оборудование Tokyo Electron или свяжитесь с отделом технической поддержки TEL.